4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、響應快。缺點:成本較高。應用...
選擇真空計應該注意什么6.安裝與接口安裝方式:根據系統設計選擇合適的安裝方式,如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性:確保真空計的接口與系統兼容。7.電源與信號輸出電源需求:選擇符合系統電源要求的真空計。信號輸出:根據需求選擇模擬信號(如4-20mA、0-10V)...
真空計后續維護定期檢查:定期對真空計進行檢查和維護,確保其處于良好的工作狀態。清潔保養:定期清潔真空計的接口和氣管,保持其清潔干燥。更換密封件:如果發現密封件老化或損壞,應及時更換以確保接口的緊密性。校準儀器:定期對真空計進行校準,以確保其測量結果的準確性。綜...
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。主要特點耐高溫:陶瓷材料能在高溫環境下穩定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環境。絕緣性能:良好的電絕緣性...
2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優點:響應快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。...
電容薄膜真空計:屬彈性元件真空計,其結構和電路原理是一彈性薄膜將規管真空室分為兩個小室,即參考壓強室和測量室。測量低壓強(P<100帕)時,參考室抽至高真空,其壓強近似為零。當測量室壓強不同時,薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個電容...
8. 復合真空計復合真空計結合多種測量技術,適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結合皮拉尼真空計和電離真空計。測量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優點:測量范圍廣,適用性強。缺點:成本較高。應用:多功能真空系統。9. 其他真空計(1)...
真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當氣體分子在封閉空間內不斷運動、相互碰撞并與容器壁發生碰撞時,這種碰撞運動將氣體分子的動能轉換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,例如:利用力...
真空測量的特點測量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~10Pa時,可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術,反應迅速,靈敏度高,可實現自動化。4大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種...
8. 復合真空計復合真空計結合多種測量技術,適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結合皮拉尼真空計和電離真空計。測量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優點:測量范圍廣,適用性強。缺點:成本較高。應用:多功能真空系統。9. 其他真空計(1)...
真空技術在生活中有著廣泛的應用,它極大地改善了我們的生活質量,提高了生產效率,隨著科技的進步和創新,真空技術的應用領域還將不斷拓展和深化,并在多個領域發揮著不可替代的作用。醫療器械與醫療環境真空包裝醫療器械:注射器、輸液袋等醫療器械需要在無菌條件下使用,通過真...
真空測量的特點測量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~10Pa時,可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術,反應迅速,靈敏度高,可實現自動化。4大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種...
真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等...
由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境,只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據真空度的不同,又...
熱傳導真空計:利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數,故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導真空計主要用于100~10^-1帕范圍,采...
2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優點:響應快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。...
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。主要特點耐高溫:陶瓷材料能在高溫環境下穩定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環境。絕緣性能:良好的電絕緣性...
利用帶電粒子效用類真空計通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規和冷陰極電離規。a)熱陰極電離規通過加熱陰極使其發射電子,進而與氣體分子發生碰撞并電離。電離產生的離子流隨壓力變化,通過測量離子流...
(1)真空計直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。***真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關,屬于***真空計的有U型壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。(2)相對真空計一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通...
安裝步驟準備工作:確保安裝區域清潔,準備好所需工具和材料。安裝真空計:將真空計對準安裝位置,確保密封面平整。按說明書安裝固定螺栓或夾具,均勻緊固。連接管路與電氣:連接真空管路,確保密封良好。按標記重新連接電氣線路。檢查與測試:檢查所有連接是否牢固,密封是...
安裝步驟準備工作:確保安裝區域清潔,準備好所需工具和材料。安裝真空計:將真空計對準安裝位置,確保密封面平整。按說明書安裝固定螺栓或夾具,均勻緊固。連接管路與電氣:連接真空管路,確保密封良好。按標記重新連接電氣線路。檢查與測試:檢查所有連接是否牢固,密封是...
常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。相對真空計:如熱傳導真空計、電離真空計等,它們由一些與...
皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼,內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數字化的工作。根據測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中...
真空計是用于測量真空系統中壓力的儀器,具有多種特點,使其在不同應用中表現出色。以下是真空計的主要特點:1. 寬量程適用:真空計可覆蓋從低真空到超高真空的范圍(如10^-1 Pa到10^-10 Pa)。多類型選擇:不同類型的真空計適用于不同的壓力范圍。2. 高精...
真空計后續維護定期檢查:定期對真空計進行檢查和維護,確保其處于良好的工作狀態。清潔保養:定期清潔真空計的接口和氣管,保持其清潔干燥。更換密封件:如果發現密封件老化或損壞,應及時更換以確保接口的緊密性。校準儀器:定期對真空計進行校準,以確保其測量結果的準確性。綜...
陶瓷薄膜真空計利用陶瓷材料的壓阻效應或電容變化來測量真空度。具體來說,當陶瓷材料受到外力(如真空度變化引起的壓力)作用時,其電阻率或形狀會發生變化。通過測量這種電阻率的變化或電容的變化,可以精確計算出當前的真空度。高精度:陶瓷薄膜真空計具有高精度和高穩定性,能...
6. 麥克勞真空計麥克勞真空計,通過壓縮氣體測量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。原理:利用氣體壓縮后的液柱高度差測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優點:精度高,無需校準。缺點:操作復雜,響應慢。應用:實驗室高真空校準。7. 質譜...
陶瓷薄膜真空計應用領域半導體制造:用于工藝過程中的真空度監控。真空鍍膜:確保鍍膜質量。科研實驗:用于高精度真空測量。醫療設備:如電子顯微鏡、質譜儀等。優缺點優點:高精度、耐腐蝕、穩定性好、量程寬。缺點:成本較高,對安裝和使用環境要求嚴格。維護與保養定期校準以確...
皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導:金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子...
真空計的現代發展技術進步:隨著半導體和微機電系統(MEMS)技術的不斷進步,真空計的精度和穩定性得到了提升,推動了新一代高性能真空計的研發和應用。智能化:現代真空計越來越多地集成了智能化功能,能夠實時監測、分析和反饋數據,提高了用戶的操作便利性和系統的整體效率...