根據激光干涉儀的原理，我們可以清楚知道，激光干涉儀是用來檢測設備的運動精度的，SJ6000激光干涉儀目前在機床、直線電機、滑臺、模組、自動化設備、機器人等領域廣泛應用。
白光干涉儀以白光干涉技術為原理，蘇州組合式激光干涉儀性能，光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，蘇州組合式激光干涉儀性能，蘇州組合式激光干涉儀性能，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光**終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。 可實現90°直角棱鏡和角錐測量。蘇州組合式激光干涉儀性能
雙頻激光干涉儀的工作原理：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應，激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光，再經分光鏡分為兩路。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為*含有f1的光束，另一路成為*含有f2的光束。當可動反射鏡移動時，含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率，正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。江蘇斐索型激光干涉儀參考價球面類（凸面、凹面、不同F數）光滑表面面形測量。
激光干涉儀工作原理：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應，激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光，再經分光鏡分為兩路。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為*含有f1的光束，另一路成為*含有f2的光束。當可動反射鏡移動時，含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率，正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經各自的光電轉換元件、放大器、整形器后進入減法器相減，輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。
溫度和空氣折射率補償單元干涉儀測量的目標位移可能長達百米，空氣折射率（及改變）和長度的乘積成為激光干涉儀的**主要誤差來源之一。用傳感器測出溫度、氣壓、濕度，信號處理單元計算出空氣折射率引入的假位移，并從結果中扣除。
信號處理單元光電探測器1和2，分別把信號和的光束轉化為電信號，±Δf是可動反射鏡位移時因多普勒效應產生的附加頻率，正負號表示位移的方向。電信號經放大器、整形器后進入減法器相減，輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。經可逆計數器計數后，由電子計算機進行當量換算即可得出可動反射鏡的位移量。環境溫度，氣壓，濕度引入的折射率變化（假位移）送入計算機計算，并扣除他們的影響。相當多的應用要求計算機和應用系統通訊，實現對加工過程的閉環控制。 平面類（平面平晶、窗口玻璃、光學平面玻璃、金屬平面、陶瓷平面等）光滑表面面形測量。
激光干涉儀激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準直都會造成測得的距離和實際的運動距離之間有差異，此誤差被稱為余弦誤差。
死程誤差是在線性測量過程中與環境因素改變有關的誤差，在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會發生在定標后以及測量過程中的環境改變。環境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計算空氣折射率，以此對激光波長進行補償。同時環境補償單元中材料溫度探頭能實時高精度測量被測設備溫度，對其進行溫度補償。但是往往因為操作人員將材料溫度探頭放置在錯誤的位置，致使采集的數據不能真實反映被測物體溫度狀態，從而增大測量誤差。 激光干涉儀有： 無應力平面檢測干涉儀， 無應力平面檢測干涉儀，現場高效球面檢測干涉儀。江蘇斐索型激光干涉儀參考價
一次測量后可同時顯示多區域測量結果、光學平行度和材料均勻性的測量， 90°直角棱鏡和角錐測量。蘇州組合式激光干涉儀性能
把一束激光用分光鏡分成兩路，這兩路光是頻率相同的，調整兩路光的行程差（只是激光波長的一半，很微小），使得這兩路光有相位差；它們平行疊加時就產生干涉現象。我們把這種激光設想為正弦波，如下圖，當2個頻率相同且相差1/4個波長的正弦波疊加時，振幅有的地方變強了（這對應著光的強度變大了，亮些），有的地方變弱了（這對應著光的強度減弱了，暗些）；所以，2個亮條紋中心之間的距離表示該激光的1/2個“波長”；只要在1米長的范圍內計算有多少個亮條紋，就可以知道此激光的“波長”是多少，從而知道它的“頻率”是多少了。蘇州組合式激光干涉儀性能
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