激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。 激光具有**度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以 邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統,蘇州曲率半徑測量激光干涉儀推薦咨詢,蘇州曲率半徑測量激光干涉儀推薦咨詢。激光干涉儀可配合各種 折射鏡、 反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,蘇州曲率半徑測量激光干涉儀推薦咨詢,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。 英文名稱:laser interferometer(激光干涉儀) 激光干涉儀分類 激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。通用組合水平式干涉儀具有良好的抗振性能,可以在有空氣擾動,輕微振動的環境下檢測。蘇州曲率半徑測量激光干涉儀推薦咨詢
當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束,Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經各自的光電轉換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。經可逆計數器計數后,由電子計算機進行當量換算(乘1/2激光波長)后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強。江蘇斐索型激光干涉儀供應商超精密機械件檢測,光學成像系統和衍射元件檢測,納米器件和MEMS檢測,科研和高等教學儀器等眾多領域。
激光具有**度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。常用來測量長度的干涉儀。以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(見激光測長技術)測量位移的通用長度測量工具。
激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的,**初用于檢定基準線紋尺,后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現的,它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高,可達1×10-7。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
單頻激光干涉儀的工作原理:從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式
雙頻激光干涉儀的工作原理:在氦氖激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路:一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。一路經偏振分光鏡后又分為兩路:一路成為*含有f1的光束,另一路成為*含有f2的光束。 可實現90°直角棱鏡和角錐測量。
激光具有**度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。常用來測量長度的干涉儀。以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(見激光測長技術)測量位移的通用長度測量工具。
激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的,**初用于檢定基準線紋尺,后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現的,它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高,可達1×10-7。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作 激光干涉儀測試原理:斐索干涉原理。江蘇大口徑激光干涉儀原理
應用領域:光學加工(窗口玻璃檢測)。蘇州曲率半徑測量激光干涉儀推薦咨詢
計量檢測,光學鏡片檢測、光學組件檢測,手機背板和相機鏡頭檢測,半導體晶圓檢測,LED襯底藍寶石檢測,安防鏡頭和車載鏡頭檢測,航空航天成像系統檢測,超精密機械件檢測,光學成像系統和衍射元件檢測,納米器件和MEMS檢測,科研和高等教學儀器等眾多領域。平面類(平面平晶、窗口玻璃、光學平面玻璃、金屬平面、陶瓷平面等)光滑表面面形測量、一次測量后可同時顯示多區域測量結果、光學平行度和材料均勻性的測量,90°直角棱鏡和角錐測量;球面類(凸面、凹面、不同F數)光滑表面面形測量;柱面類(凸面、凹面、不同F數)光滑表面面形測量;非球面類(凸面、凹面)光滑表面面形測量;光學組件和系統透射波前精度測量、光學系統的裝調和校準等。蘇州曲率半徑測量激光干涉儀推薦咨詢
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