引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉儀引力波探測器已經發展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱shou ci直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀，而另外一類引力波探測實驗， 脈沖星測時陣列則可認為是多路光線干涉儀（Hellings和Downs,1983）。三軸機床和坐標測量機的21種可能運動誤差的校準，復雜 且實惠。激光干涉儀高精度測量

被光束照射到的電子會吸收光子的能量，但是其中機制遵照的是一種非全有即全無的判據，光子所有能量都必須被吸收，用來克服逸出功，否則這能量會被釋出。假若電子所吸收的能量能夠克服逸出功，并且還有剩余能量，則這剩余能量會成為電子在被發射后的動能。逸出功 W 是從金屬表面發射出一個光電子所需要的較小能量。如果轉換到頻率的角度來看，光子的頻率必須大于金屬特征的極限頻率，才能給予電子足夠的能量克服逸出功。逸出功與極限頻率之間的關系為其中，h是普朗克常數， W是光頻率為的光子的能量。克服逸出功之后，光電子的比較大動能  為其中，hv 是光頻率為 v的光子所帶有并且被電子吸收的能量。實際物理要求動能必須是正值，因此，光頻率必須大于或等于極限頻率，光電效應才能發生。上海皮米精度激光干涉儀激光電流以高頻調幅（~MHz）。

從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。

干涉儀主要特點

1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角2.設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3.可選的無線遙控傳感器極長的控制距離可到25米4.可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性5.全套系統重量只15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架6.集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性等。8、激光干涉儀的光源——激光，具有gao qiang度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。 檢測電機的軸承誤差。

精密機械技術

專科大學的專業課程

精密機械技術是一個大學專業課程，培養掌握精密機械與儀器的基礎理論和專業知識，事精密儀器與機械的設計制造，以及設備的測量控制和維護管理的高級技術應用性專門人才。

中樞能力：精密機械設計制造、信息處理、測量和控制的技能。

專業中樞課程與主要實踐環節：機械設計基礎、電工與電子學、互換性和技術測量、微機原理與應用、傳感器、信號分析與處理、控制工程基礎、工程光學基礎、精密機械與儀器設計、精密機械制造工藝學、精密測量與控制、金工實習、電工電子實習、測試與檢測實習、精密機械課程設計、畢業實習（設計）等，以及各校的主要特色課程和實踐環節。 傳感頭的緊湊和模塊化設計，以及柔性玻璃纖維使得能夠在整個工作范圍內快速安裝和快速對齊。激光干涉儀外形尺寸測量

晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量。激光干涉儀高精度測量

結構原理：普通電流互感器結構原理：電流互感器的結構較為簡單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構架、殼體、接線端子等組成。其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數（N1）較少，直接串聯于電源線路中，一次負荷電流(I1)通過一次繞組時，產生的交變磁通感應產生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負荷（Z）串聯形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實際運行中負荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態，相當于一個短路運行的變壓器。激光干涉儀高精度測量