MEMS傳感器是MEMS器件的一個(gè)重要分支,作為微機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部分,MEMS傳感器是實(shí)現(xiàn)微機(jī)電系統(tǒng)感知和信號(hào)處理的功能器件。這種傳感器采用MEMS制造技術(shù),即微電子制造技術(shù)和微機(jī)械加工制造技術(shù),其材料、工作原理、制作工藝等方面與傳統(tǒng)傳感器有相當(dāng)大的區(qū)別。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應(yīng)工作的,它的制作工藝結(jié)合當(dāng)今先進(jìn)的IC微電子加工工藝和MEMS微機(jī)械加工制造工藝來實(shí)現(xiàn),通過對(duì)材料的微機(jī)械加工,制造出可感受壓力、溫度、磁場(chǎng)、加速度等各種參數(shù)的穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)器件(如梁、膜、叉指等單一或復(fù)合的結(jié)構(gòu)),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)各種相關(guān)參數(shù)的感知、測(cè)試和轉(zhuǎn)換而單靠人們自身的感覺,在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動(dòng)中它們的功能就遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠了。長(zhǎng)寧區(qū)如何傳感器銷售
利用激光的高方向性、高單色性和高亮度等特點(diǎn)可實(shí)現(xiàn)無接觸遠(yuǎn)距離測(cè)量。激光傳感器常用于長(zhǎng)度(ZLS-Px)、距離(LDM4x)、振動(dòng)(ZLDS10X)、速度(LDM30x)、方位等物理量的測(cè)量,還可用于探傷和大氣污染物的監(jiān)測(cè)等。霍爾傳感器(圖8)霍爾傳感器是根據(jù)霍爾效應(yīng)制作的一種磁場(chǎng)傳感器,***地應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化技術(shù)、檢測(cè)技術(shù)及信息處理等方面。霍爾效應(yīng)是研究半導(dǎo)體材料性能的基本方法。通過霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)測(cè)定的霍爾系數(shù),能夠判斷半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類型、載流子濃度及載流子遷移率等重要參數(shù)。長(zhǎng)寧區(qū)如何傳感器銷售微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基礎(chǔ)上的,已成功應(yīng)用在硅器件上做成硅壓力傳感器。
國(guó)內(nèi)在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作,如西安電子科技大學(xué)研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學(xué)微電子所開發(fā)的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵(lì)、壓阻電橋檢測(cè)的方式,其敏感結(jié)構(gòu)為高度對(duì)稱的4角支撐質(zhì)量塊形式,在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個(gè)諧振梁用于信號(hào)檢測(cè)。3、微機(jī)械陀螺角速度一般是用陀螺儀來進(jìn)行測(cè)量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動(dòng)的物體具有保持其角動(dòng)量的特性來測(cè)量角速度的。這種陀螺儀的精度很高,但它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,使用壽命短,成本高,一般*用于導(dǎo)航方面,而難以在一般的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中應(yīng)用。實(shí)際上,如果不是受成本限制,角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統(tǒng)、攝象機(jī)的穩(wěn)定系統(tǒng)、醫(yī)用儀器、***儀器、運(yùn)動(dòng)機(jī)械、計(jì)算機(jī)慣性鼠標(biāo)、***等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。常見的微機(jī)械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu),懸臂梁結(jié)構(gòu)、音叉結(jié)構(gòu)、振動(dòng)環(huán)結(jié)構(gòu)等。但是,實(shí)現(xiàn)的微機(jī)械陀螺的精度還不到10°/h,離慣性導(dǎo)航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠(yuǎn)。
酸、堿、鹽濃度傳感器主要由電導(dǎo)池、電子模塊、顯示表頭和殼體組成。電子模塊電路則由激勵(lì)電源、電導(dǎo)池、電導(dǎo)放大器、相敏整流器、解調(diào)器、溫度補(bǔ)償、過載保護(hù)和電流轉(zhuǎn)換等單元組成。電導(dǎo)它是通過測(cè)量溶液的電導(dǎo)值來間接測(cè)量離子濃度的流程儀表(一體化傳感器),可在線連續(xù)檢測(cè)工業(yè)過程中水溶液的電導(dǎo)率。由于電解質(zhì)溶液與金屬導(dǎo)體一樣的電的良導(dǎo)體,因此電流流過電解質(zhì)溶液時(shí)必有電阻作用,且符合歐姆定律。但液體的電阻溫度特性與金屬導(dǎo)體相反,具有負(fù)向溫度特性。為區(qū)別于金屬導(dǎo)體,電解質(zhì)溶液的導(dǎo)電能力用電導(dǎo)(電阻的倒數(shù))或電導(dǎo)率(電阻率的倒數(shù))來表示。生物類,基于酶、抗體、等分子識(shí)別功能。
手機(jī)拍照帶給我們隨時(shí)隨地的便捷,但是面對(duì)復(fù)雜的環(huán)境、多樣的拍照?qǐng)鼍埃耸峙恼沼袩o法避免的抖動(dòng),像是走著跑著躺著拍照,或者把手伸長(zhǎng)、手握自拍桿自拍,無論哪種抖動(dòng),憑借MEMS DRIVE馬達(dá)獨(dú)有的五軸防抖,和快速、精細(xì)控制的技術(shù)優(yōu)勢(shì),都能呈現(xiàn)出更清晰更銳麗的圖片 [1]。1、微機(jī)械壓力傳感器微機(jī)械壓力傳感器是**早開始研制的微機(jī)械產(chǎn)品,也是微機(jī)械技術(shù)中**成熟、**早開始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號(hào)檢測(cè)方式來看,微機(jī)械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類,分別以體微機(jī)械加工技術(shù)和**層技術(shù)為基礎(chǔ)制造。從敏感膜結(jié)構(gòu)來看,有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。壓阻式壓力傳感器的精度可達(dá)0.05%~0.01%,年穩(wěn)定性達(dá)0.1%/F.S,溫度誤差為0.0002%,耐壓可達(dá)幾百兆帕,過壓保護(hù)范圍可達(dá)傳感器量程的20倍以上,并能進(jìn)行大范圍下的全溫補(bǔ)償。現(xiàn)階段微機(jī)械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個(gè)方面。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。奉賢區(qū)如何傳感器廠家現(xiàn)貨
在利用信息的過程中,首先要解決的就是要獲取準(zhǔn)確可靠的信息,而傳感器是獲取自然和生產(chǎn)領(lǐng)域中信息的主要途徑與手段。長(zhǎng)寧區(qū)如何傳感器銷售
酸、堿、鹽酸、堿、鹽濃度傳感器通過測(cè)量溶液電導(dǎo)值來確定濃度。它可以在線連續(xù)檢測(cè)工業(yè)過程中酸、堿、鹽在水溶液中的濃度含量。這種傳感器主要應(yīng)用于鍋爐給水處理、化工溶液的配制以及環(huán)保等工業(yè)生產(chǎn)過程。酸、堿、鹽濃度傳感器的工作原理是:在一定的范圍內(nèi),酸堿溶液的濃度與其電導(dǎo)率的大小成比例。因而,只要測(cè)出溶液電導(dǎo)率的大小變可得知酸堿濃度的高低。當(dāng)被測(cè)溶液流入**電導(dǎo)池時(shí),如果忽略電極極化和分布電容,則可以等效為一個(gè)純電阻。在有恒壓交變電流流過時(shí),其輸出電流與電導(dǎo)率成線性關(guān)系,而電導(dǎo)率又與溶液中酸、堿濃度成比例關(guān)系。因此只要測(cè)出溶液電流,便可算出酸、堿、鹽的濃度。長(zhǎng)寧區(qū)如何傳感器銷售
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