潔凈室空氣潔凈度等級劃分與檢測標準潔凈室的空氣潔凈度等級依據(jù)ISO 14644-1標準，按每立方米空氣中粒徑≥0.1μm至≥5μm的顆粒物濃度劃分（如ISO Class 1級要求≥0.1μm粒子數(shù)≤10個）。檢測時需使用激光粒子計數(shù)器在靜態(tài)和動態(tài)條件下分別采樣，采樣點需均勻分布于工作高度（0.8-1.5米）。例如，某半導體晶圓廠因未在動態(tài)環(huán)境下檢測，導致實際生產(chǎn)時懸浮粒子超標，造成整批晶圓報廢。檢測時還需注意采樣流量與房間換氣次數(shù)的匹配（如ISO 5級房間換氣次數(shù)需≥250次/小時），并避開氣流干擾區(qū)域。建議企業(yè)建立潔凈度實時監(jiān)測系統(tǒng)，結合大數(shù)據(jù)分析預測污染趨勢。根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。溫濕度潔凈室檢測

8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設應符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應穿越無關的房間。2干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內(nèi)。3易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道應明敷。4當易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風措施。8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關規(guī)定。8.1.3工業(yè)管道設計應符合下列規(guī)定：1應按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。2在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應盡量短。3應避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。4管道系統(tǒng)應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。8.1.4工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。8.1.5可燃氣體管道、氧氣管道的末端或比較高點均應設置放散管。放散管引至室外應高出屋脊1m，并應有防雨、防雜物侵入的措施。北京實驗室潔凈室檢測評估干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內(nèi)。

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設備、生產(chǎn)環(huán)境控制設施協(xié)調(diào)，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內(nèi)裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)范》GB50222的有關規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級應符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，且表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應減少凹凸面，2當采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整個室截面上通過的潔凈室。

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區(qū))，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規(guī)定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；2應設置**的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；3主體結構應根據(jù)微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應選用剛度適當?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置值班送風。浙江微生物潔凈室檢測流程

層流設備FFU（風機過濾單元）需每月檢測風速均勻性。溫濕度潔凈室檢測

12.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡結構，并應具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū))的送風量或回風量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。溫濕度潔凈室檢測