新巴頓分子泵軸承采用多道密封結構設計,以滿足機械行業對真空系統的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合,迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導體薄膜沉積設備中,這種密封系統可防止工藝氣體(如 NF?、Cl?)滲入軸承腔,避免潤滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈(材質為氟橡膠 Viton),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在機械啟停的溫度波動中保持彈性,確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統的整體設計使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環境下仍能維持穩定的密封性能,為機械工藝的真空度提供可靠保障。巴頓分子泵軸承:技術支持,解決客戶難題。C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發
分子泵軸承選型需綜合考量轉速、載荷、真空度及環境介質四大要素。以 100L/s 抽速的分子泵為例,其轉子重量約 5kg,高速旋轉時產生的離心力可達 5000N,需選用接觸角為 30° 的角接觸球軸承,通過背對背安裝方式承受雙向軸向載荷。新巴頓提供的選型工具可根據用戶參數自動計算:當轉速超過 12 萬轉 / 分鐘時,推薦采用 7000 系列角接觸軸承,其 Dm?N 值(軸承節圓直徑 × 轉速)可達 1.2×10?mm?r/min,同時需搭配陶瓷球以降低離心力引起的形變。對于含腐蝕性氣體的真空環境,316L 不銹鋼材質的軸承配合 PTFE 保持架,可耐受氯氣、氟化氫等介質的侵蝕。C2204HX205Y16DF分子泵軸承銷售新巴頓分子泵軸承,采用創新復合材料,耐磨耐蝕,承載能力優越。
新巴頓自主研發的微量油氣潤滑系統,將潤滑油以 0.03ml/h 的精確流量與壓縮空氣混合形成油霧,相比傳統脂潤滑,摩擦功耗降低了 65%,且有效避免了積碳問題的產生。針對半導體行業的潔凈需求,推出全氟聚醚(PFPE)潤滑脂,其揮發分含量低于 0.08%,滿足 ISO 14644-1 Class 5 級潔凈標準,即便在 10??Pa 的超高真空環境下,依然能保持穩定的潤滑性能。某半導體 MOCVD 設備使用該潤滑方案后,軸承的維護周期從 3 個月延長至 14 個月,每年可節省設備維護成本約 120 萬元,同時減少了因潤滑問題導致的設備停機風險。
分子泵高速旋轉時產生的陀螺力矩需通過角接觸軸承的接觸角優化來平衡。新巴頓的 7000 系列角接觸軸承采用 15°-40° 接觸角定制設計,當接觸角為 25° 時,可同時承受 3000N 軸向載荷與 1500N 徑向載荷,滿足 15 萬轉 / 分鐘工況下的轉子穩定性要求。通過有限元分析(FEA)優化滾道曲率半徑系數至 1.08 倍球徑,使接觸應力降低 25%,避免邊緣過載導致的疲勞剝落。某半導體刻蝕設備改用該設計后,軸承的 L10 壽命(90% 可靠性壽命)從 3000 小時提升至 8000 小時。創新技術推動,新巴頓分子泵軸承帶領紡織機械高效發展。
分子泵軸承的動態平衡技術:高速分子泵的軸承組件需進行高精度動平衡,新巴頓采用雙面平衡機(精度等級 G0.4)對軸承 - 轉子系統進行整體平衡,殘余不平衡量控制在 0.5g?mm/kg 以下。對于 10kg 轉子,該精度可使高速運轉時的離心力波動≤5N,避免軸承異常磨損。平衡過程中通過激光去重技術(去除量精度 ±0.1mg)對轉子配重塊進行微調,某真空鍍膜設備采用該技術后,軸承的振動加速度從 12m/s2 降至 3m/s2,達到 ISO 2372 機械振動等級 1 級標準。巴頓分子泵軸承:耐腐蝕,延長使用壽命。杭州巴頓C105HY14 分子泵軸承
巴頓分子泵軸承:優化安裝設計,簡化安裝過程。C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發
針對機械行業的噪聲控制需求,新巴頓對分子泵軸承進行噪聲頻譜優化。通過頻譜分析發現,軸承噪聲主要來自滾動體打滑(1000-3000Hz)和保持架碰撞(5000-8000Hz),因此采用橢圓滾子修形(修形量 0.01-0.03mm)降低打滑率,保持架采用鏤空式設計(質量減輕 20%)減少碰撞能量。在紡織機械的真空吸風機中,優化后的軸承噪聲從 75dB 降至 62dB,符合車間噪聲≤85dB 的環保標準。噪聲測試在半消聲室(本底噪聲≤30dB)中進行,通過 1/3 倍頻程分析,確保各頻段噪聲均低于行業限值,為機械操作人員創造更舒適的工作環境。C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發