在激光干涉儀引力波探測(cè)器中要盡可能地使用高激光功率,使用功率循環(huán)技術(shù)?？梢杂行У刈龅竭@一點(diǎn),其基本的想法是把從干涉儀亮出來(lái)的光重新收集起來(lái),再注入干涉儀中,進(jìn)行循環(huán)利用。因?yàn)榧す飧缮鎯x引力波探測(cè)器的工作點(diǎn)選擇在暗紋條件,如果干涉儀內(nèi)的光損耗很小,幾乎所有的入射光功率都會(huì)經(jīng)載頻出,這是極大的浪費(fèi)。在激光器和分光鏡之間放上一面鏡子,就能實(shí)現(xiàn)光能的回收。這面鏡子稱為功率循環(huán)鏡,它把這部分漏出的光與從激光器來(lái)的新鮮光混合,一起注入到干涉儀內(nèi),則干涉儀內(nèi)的有效功率將增加。激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具。浙江顯微式激光干涉儀

激光干涉儀的使用方法：開(kāi)機(jī)：接通電源打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，1分鐘后開(kāi)始檢測(cè)。(因?yàn)閯傞_(kāi)機(jī)激光器不穩(wěn)定)。光路調(diào)整：旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點(diǎn)，顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測(cè)：調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸，(建議大批量固定透鏡的檢測(cè)，自己加工固定的沉座)放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)重合，觀測(cè)顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精度越高。其干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步，無(wú)需切換，任何人都能簡(jiǎn)單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長(zhǎng)的測(cè)試軌道來(lái)配合測(cè)量尺寸，可簡(jiǎn)便的測(cè)量出曲率半徑。河南科研開(kāi)發(fā)激光干涉儀廠商激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢(shì)。

激光干涉儀輔助工具的選擇：雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實(shí)際使用過(guò)程中還是需要另外配置一些輔助工具：①研制低高度云臺(tái)支架；部分機(jī)床工作臺(tái)高度與地面是基本相平的，那么測(cè)量Z軸時(shí)，如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺(tái)安放激光器于地面，則肯定會(huì)因?yàn)槿羌鼙旧淼母叨?，損失測(cè)量范圍。②選擇磁性表座；磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時(shí)需要注意，表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿，主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(gè)(實(shí)驗(yàn)室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座)，在測(cè)量時(shí)，往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。

激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃定位。激光干涉儀的測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵。

激光干涉儀的應(yīng)用：幾何精度檢測(cè)?？捎糜跈z測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差，而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可比較大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到比較佳精度，另外操作者無(wú)需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。激光干涉儀在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)。深圳精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀供應(yīng)商

可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析。浙江顯微式激光干涉儀

激光干涉儀引力波探測(cè)器對(duì)光學(xué)鏡的要求：(1)體積和重量；激光干涉儀引力波探測(cè)器的臂長(zhǎng)一般為千米量級(jí),由于光束傳播過(guò)程中的發(fā)散,光斑變大。為了避免邊緣效應(yīng)光學(xué)鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質(zhì)量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質(zhì)量一般為20kg左右。(2)熱傳導(dǎo)及熱噪聲；當(dāng)激光干涉儀引力波探測(cè)器運(yùn)行時(shí),臂上法布里-珀羅腔內(nèi)的激光功率非常強(qiáng),例如高級(jí)LIGO達(dá)到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內(nèi)部不能有結(jié)構(gòu)上的缺陷。為減小由于局部發(fā)熱而產(chǎn)生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。浙江顯微式激光干涉儀