臺(tái)寶艾機(jī)械導(dǎo)軌按照 JIS 標(biāo)準(zhǔn),精度等級(jí)涵蓋普通級(jí)、高級(jí)、精密級(jí)和超精密級(jí),能夠滿足半導(dǎo)體行業(yè)不同設(shè)備的精度需求。對(duì)于半導(dǎo)體封裝設(shè)備中的芯片貼裝工序,需要極高的定位精度以確保芯片準(zhǔn)確貼裝到基板上,此時(shí)可選用超精密級(jí)機(jī)械導(dǎo)軌,其直線度誤差可控制在 ±0.5μm/300mm 以內(nèi),平行度誤差小于 ±1μm / 全長(zhǎng),能夠保證貼裝頭在 X、Y 軸方向上的精確運(yùn)動(dòng),使芯片貼裝位置偏差控制在極小范圍內(nèi),提高封裝良率。而對(duì)于半導(dǎo)體清洗設(shè)備等對(duì)精度要求相對(duì)較低的設(shè)備,則可選用高級(jí)或精密級(jí)導(dǎo)軌,在保證設(shè)備正常運(yùn)行的同時(shí),降低成本。此外,導(dǎo)軌在制造過(guò)程中,采用高精度研磨和磨削工藝,配合激光干涉儀等精密檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn),確保每一條導(dǎo)軌都能達(dá)到相應(yīng)的精度標(biāo)準(zhǔn)。高碳鉻軸承鋼材質(zhì),淬火后 HRC60 - 62,耐磨抗疲勞,適配機(jī)床重載。中國(guó)臺(tái)灣TBI導(dǎo)軌尺寸
導(dǎo)軌的類型及特點(diǎn)(動(dòng)壓導(dǎo)軌):動(dòng)壓導(dǎo)軌是利用流體動(dòng)力學(xué)原理工作的導(dǎo)軌類型。當(dāng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件高速運(yùn)動(dòng)時(shí),在導(dǎo)軌與運(yùn)動(dòng)部件之間會(huì)形成一層具有承載能力的流體動(dòng)壓油膜,這層油膜將運(yùn)動(dòng)部件與導(dǎo)軌隔開(kāi),從而起到支撐和潤(rùn)滑的作用。動(dòng)壓導(dǎo)軌具有速度高、抗振性好的優(yōu)點(diǎn),而且其結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單,安裝和維護(hù)較為方便。但是,動(dòng)壓導(dǎo)軌的精度容易受到環(huán)境因素的影響,例如溫度變化、油液污染等,都可能導(dǎo)致油膜厚度和壓力分布發(fā)生變化,從而影響導(dǎo)軌的精度。在低速重載的情況下,動(dòng)壓導(dǎo)軌還容易出現(xiàn)導(dǎo)軌面接觸的問(wèn)題。盡管存在這些局限性,在一些對(duì)速度和抗振性要求較高、對(duì)精度要求相對(duì)不那么苛刻的特定設(shè)備中,如某些高速切削機(jī)床等,動(dòng)壓導(dǎo)軌仍有其應(yīng)用價(jià)值。臺(tái)寶艾傳動(dòng)科技有限公司憑借專業(yè)的技術(shù)知識(shí),能夠?yàn)榭蛻舴治鰟?dòng)壓導(dǎo)軌在特定工況下的適用性,為客戶提供專業(yè)的解決方案。東莞微型直線導(dǎo)軌規(guī)格低溫絲桿導(dǎo)軌,液態(tài)氟橡膠潤(rùn)滑,-80℃保持流動(dòng)性,適用于極地科考設(shè)備。
在大型機(jī)械設(shè)備如船舶制造的分段加工設(shè)備、大型印刷機(jī)中,單一滑塊難以滿足長(zhǎng)行程、大負(fù)載的運(yùn)動(dòng)需求。臺(tái)寶艾機(jī)械導(dǎo)軌推出多滑塊協(xié)同驅(qū)動(dòng)技術(shù),通過(guò)同步控制多個(gè)滑塊,實(shí)現(xiàn)高精度的協(xié)同運(yùn)動(dòng)。導(dǎo)軌采用模塊化設(shè)計(jì),可根據(jù)設(shè)備需求靈活組合滑塊數(shù)量,各滑塊間通過(guò)高精度的同步帶或絲桿連接,配合伺服控制系統(tǒng),使多個(gè)滑塊的位置偏差控制在 ±0.02mm 以內(nèi)。在大型龍門(mén)銑床中,應(yīng)用該技術(shù)的導(dǎo)軌能夠承載重達(dá) 10 噸的工作臺(tái),在 3 米長(zhǎng)行程內(nèi)保持 ±1μm/m 的直線度,確保銑削加工的表面平整度和尺寸精度。多滑塊協(xié)同驅(qū)動(dòng)技術(shù)不僅提升了設(shè)備的承載能力,還通過(guò)負(fù)載均布減少了單個(gè)滑塊的磨損,延長(zhǎng)了導(dǎo)軌整體使用壽命。
導(dǎo)軌的類型及特點(diǎn)(靜壓導(dǎo)軌):靜壓導(dǎo)軌同樣是基于流體力學(xué)原理工作,但與動(dòng)壓導(dǎo)軌不同的是,靜壓導(dǎo)軌是通過(guò)外部的液壓或氣壓系統(tǒng)向?qū)к壟c運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙中強(qiáng)制注入具有一定壓力的流體,形成靜壓油膜或氣膜,以支撐運(yùn)動(dòng)部件并實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦的運(yùn)動(dòng)。靜壓導(dǎo)軌的摩擦系數(shù)極小,在低速運(yùn)動(dòng)時(shí)也能保持平穩(wěn),具有出色的耐振性和較高的剛性。這使得它在精密和高精度機(jī)床等對(duì)運(yùn)動(dòng)精度和穩(wěn)定性要求極高的設(shè)備中得到廣泛應(yīng)用。例如在超精密加工機(jī)床中,靜壓導(dǎo)軌能夠保證刀具和工件之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到微米甚至納米級(jí),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)高精度零件的加工。然而,靜壓導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,需要專門(mén)的液壓或氣壓設(shè)備來(lái)提供壓力,并且維修難度較大,成本也相對(duì)較高。臺(tái)寶艾傳動(dòng)科技有限公司能夠?yàn)橛行枨蟮目蛻籼峁╆P(guān)于靜壓導(dǎo)軌的詳細(xì)技術(shù)咨詢,包括系統(tǒng)配置、維護(hù)要點(diǎn)等,助力客戶用好靜壓導(dǎo)軌,提升設(shè)備性能。耐低溫鋼材 + 特殊潤(rùn)滑脂,-196℃保持性能,用于航空低溫設(shè)備。
深圳市臺(tái)寶艾傳動(dòng)科技有限公司的機(jī)械導(dǎo)軌針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的高精度運(yùn)動(dòng)需求,采用獨(dú)特的四列圓弧溝槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。這種結(jié)構(gòu)能夠使鋼球與導(dǎo)軌溝槽實(shí)現(xiàn)四點(diǎn)接觸,在保證高剛性的同時(shí),大幅提升導(dǎo)軌的負(fù)載能力和運(yùn)動(dòng)平滑性。以半導(dǎo)體光刻機(jī)為例,設(shè)備在進(jìn)行晶圓光刻時(shí),需要工作臺(tái)在微米級(jí)甚至納米級(jí)尺度上實(shí)現(xiàn)精確位移,臺(tái)寶艾機(jī)械導(dǎo)軌憑借其精密的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可將直線度誤差控制在 ±1μm/300mm 以內(nèi),重復(fù)定位精度達(dá)到 ±0.5μm,確保光刻機(jī)在高速運(yùn)動(dòng)過(guò)程中,光束能夠準(zhǔn)確聚焦在晶圓表面,從而保證光刻圖案的精度和質(zhì)量。此外,導(dǎo)軌的滑塊與導(dǎo)軌之間采用預(yù)緊設(shè)計(jì),可有效消除間隙,避免運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的振動(dòng)和爬行現(xiàn)象,為半導(dǎo)體設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供堅(jiān)實(shí)保障。導(dǎo)軌搭載數(shù)字孿生芯片,全生命周期數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè),故障預(yù)測(cè)準(zhǔn)確率超 90%。江蘇3C設(shè)備導(dǎo)軌廠家
陶瓷涂層絲桿導(dǎo)軌,表面硬度提升,在半導(dǎo)體設(shè)備中耐腐蝕且定位精確。中國(guó)臺(tái)灣TBI導(dǎo)軌尺寸
在工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域,高精度傳動(dòng)與重載負(fù)荷的平衡始終是技術(shù)難點(diǎn)。臺(tái)寶艾傳動(dòng)科技推出的TBI 滾珠螺桿 BSH 系列,憑借獨(dú)特的設(shè)計(jì)理念與精密制造工藝,成為數(shù)控機(jī)床、重型機(jī)械等場(chǎng)景的優(yōu)先選擇方案。該系列采用雙螺母預(yù)壓結(jié)構(gòu),通過(guò)精確調(diào)整預(yù)緊力,消除軸向間隙,定位精度可達(dá) ±0.005mm,重復(fù)定位精度≤±0.003mm,滿足微米級(jí)加工需求。在材料選型上,BSH 系列螺桿采用SUJ2 高碳鉻軸承鋼,經(jīng)真空淬火處理后硬度達(dá) HRC58-62,表面通過(guò)精密研磨工藝實(shí)現(xiàn) Ra≤0.4μm 的粗糙度,配合不銹鋼滾珠與高分子保持器,明顯降低摩擦系數(shù)(μ≈0.0015),傳動(dòng)效率提升至 90% 以上。其最大負(fù)載能力可達(dá)280kN(根據(jù)導(dǎo)程不同),適用于注塑機(jī)模板移動(dòng)、沖壓機(jī)床進(jìn)給系統(tǒng)等重負(fù)荷場(chǎng)景。中國(guó)臺(tái)灣TBI導(dǎo)軌尺寸