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江蘇POLOSBEAM光刻機MAX層厚可達到10微米

來源: 發布時間:2025-05-27

針對碳化硅(SiC)功率模塊的柵極刻蝕難題,Polos 光刻機的激光直寫技術實現了 20nm 的邊緣粗糙度控制,較傳統光刻膠工藝提升 5 倍。某新能源汽車芯片廠商利用該設備,將 SiC MOSFET 的導通電阻降低 15%,開關損耗減少 20%,推動車載逆變器效率突破 99%。其靈活的圖案編輯功能支持快速驗證新型柵極結構,使器件研發周期從 12 周壓縮至 4 周,助力我國在第三代半導體領域實現彎道超車。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。德國工藝:精密制造基因,10 年以上使用壽命,維護成本低,設備殘值率達 60%。江蘇POLOSBEAM光刻機MAX層厚可達到10微米

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在航空航天科研中,某科研團隊致力于研發用于環境監測和偵察的微型飛行器。其中,制造輕量化且高性能的微機械部件是關鍵。德國 Polos 光刻機憑借無掩模激光光刻技術,助力團隊制造出尺寸precise、質量輕盈的微型齒輪、機翼骨架等微機械結構。例如,利用該光刻機制造的微型齒輪,齒距精度達到納米級別,極大提高了飛行器動力傳輸系統的效率和穩定性。基于此,科研團隊成功試飛了一款新型微型飛行器,其續航時間和飛行靈活性遠超同類產品,為未來微型飛行器在復雜環境下的應用奠定了堅實基礎。德國POLOS光刻機無掩模激光直寫技術:無需物理掩膜,軟件直接輸入任意圖案,降低成本與時間。

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在構建肝臟芯片的血管化網絡時,某生物工程團隊使用 Polos 光刻機實現了跨尺度結構制備。其無掩模技術在 200μm 的主血管與 5μm 的blood capillary間precise銜接,血管內皮細胞貼壁率達 95%,較傳統光刻提升 30%。通過輸入 CT 掃描的真實肝臟血管數據,芯片成功模擬門靜脈與肝竇的血流梯度,使肝細胞功能維持時間從 7 天延長至 21 天。該技術為藥物肝毒性測試提供了接近體內環境的模型,某制藥公司使用后將候選藥物篩選周期縮短 40%,相關成果登上《Lab on a Chip》封面。

微流體芯片制造的core工具!Polos光刻機可加工80 μm直徑的開環諧振器和2 μm叉指電極,適用于傳感器與執行器開發。結合雙光子聚合技術(如Nanoscribe的2PP工藝),用戶可擴展至3D微納結構打印,為微型機器人及光學超材料提供多維度解決方案37。其與Lab14集團的協同合作,進一步推動工業級光學封裝技術創新3。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。用戶案例broad:全球超500家科研機構采用,覆蓋高校、研究所與企業實驗室。

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德國 Polos 光刻機系列以其緊湊的設計,在有限的空間內發揮著巨大作用。對于研究實驗室,尤其是空間資源緊張的高校和初創科研機構來說,設備的空間占用是重要考量因素。Polos 光刻機占用空間小的特點,使其能夠輕松融入各類實驗室環境。? 盡管體積小巧,但它的性能卻毫不遜色。無掩模激光光刻技術保障了高精度的圖案制作,低成本的優勢降低了科研投入門檻。在小型實驗室中,科研人員使用 Polos 光刻機,在微流體、電子學等領域開展研究,成功取得多項成果。從微納結構制造到新型器件研發,Polos 光刻機證明了小空間也能蘊藏大能量,為科研創新提供有力支持。實時觀測系統:120 FPS高清攝像頭搭配20x尼康物鏡,實現加工過程動態監控。德國POLOS光刻機

POLOS μ:超緊湊設計,納米級精度專攻微流控與細胞芯片。江蘇POLOSBEAM光刻機MAX層厚可達到10微米

細胞培養芯片需根據不同細胞類型設計表面微結構,傳統光刻依賴掩模庫,難以滿足個性化需求。Polos 光刻機支持 STL 模型直接導入,某干細胞研究所在 24 小時內完成了神經干細胞三維培養支架的定制加工。其制造的微柱陣列間距可精確控制在 5-50μm,適配不同分化階段的細胞黏附需求。實驗顯示,使用該支架的神經細胞軸突生長速度提升 30%,為神經再生機制研究提供了高效工具,相關技術已授權給生物芯片企業實現量產。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。江蘇POLOSBEAM光刻機MAX層厚可達到10微米

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