無掩模激光光刻技術為研究實驗室提供了一種多功能的納米/微米光刻工具,可用于創建亞微米級特征,并促進電路和器件的快速原型設計。經濟高效的桌面配置使研究人員和行業從業者無需復雜的基礎設施和設備即可使用光刻技術。應用范圍擴展至微機電系統 (MEM)、生物醫學設備和微電子器件的設計和制造,例如以下領域:醫療(包括微流體)、半導體、電子、生物技術和生命科學、先進材料研究。全球無掩模光刻系統市場規模預計在 2022 年達到 3.3606 億美元,預計到 2028 年將增長至 5.0143 億美元,復合年增長率為 6.90%。由于對 5G、AIoT、物聯網以及半導體電路性能和能耗優化的需求不斷增長,預計未來幾十年光刻市場將持續增長。微流體領域:支持 1-100μm 微通道定制,助力organ芯片血管網絡precise建模。吉林德國POLOS桌面無掩模光刻機
Polos光刻機與德國Lab14集團、弗勞恩霍夫研究所等機構合作,推動光子集成與半導體封裝技術發展。例如,Quantum X align系統的高對準精度(100 nm)為光通信芯片提供可靠解決方案,彰顯德國精密制造與全球產業鏈整合的優勢。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。吉林德國POLOS桌面無掩模光刻機光束引擎高速掃描:SPS POLOS μ單次寫入400 μm區域,壓電驅動提升掃描速度。
SPS POLOS μ以桌面化設計降低設備投入成本,無需掩膜制備費用。其光束引擎通過壓電驅動快速掃描,單次寫入區域達400 μm,支持光刻膠如AZ5214E的高效曝光。研究案例顯示,該設備成功制備了間距3 μm的微圖案陣列和叉指電容器,助力納米材料與柔性電子器件的快速原型驗證。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。
在organ芯片研究中,模擬人體organ微環境需要微米級精度的三維結構。德國 Polos 光刻機憑借無掩模激光光刻技術,幫助科研團隊在 PDMS 材料上構建出仿生血管網絡與組織界面。某再生醫學實驗室使用 Polos 光刻機,成功制備出肝芯片微通道,其內皮細胞黏附率較傳統方法提升 40%,且可通過軟件實時調整通道曲率,precise模擬肝臟血流動力學。該技術縮短了organ芯片的研發周期,為藥物肝毒性測試提供了更真實的體外模型,相關成果入選《自然?生物技術》年度創新技術案例。圖案靈活性:支持 STL 模型直接導入,30 分鐘完成從設計到曝光全流程。
可編程微流控芯片需要集成電路控制與流體通道,傳統工藝需多次掩模對準,良率only 30%。Polos 光刻機的多材料同步曝光技術,支持在同一塊基板上直接制備金屬電極與 PDMS 通道,將良率提升至 85%。某微系統實驗室利用該特性,開發出可實時切換流路的生化分析芯片,通過軟件輸入不同圖案,10 分鐘內即可完成從 DNA 擴增到蛋白質檢測的模塊切換。該成果應用于 POCT 設備,使現場快速檢測系統的體積縮小 60%,檢測時間縮短至傳統方法的 1/3。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。納 / 微機械:亞微米級結構加工,微型齒輪精度達 ±50nm,推動微機電系統創新。吉林德國POLOS桌面無掩模光刻機
柔性電子制造:可制備叉指電容器與高頻電路,推動5G通信與物聯網硬件發展。吉林德國POLOS桌面無掩模光刻機
植入式神經電極需要兼具生物相容性與導電性能,表面微圖案可remarkable影響細胞 - 電極界面。Polos 光刻機在鉑銥合金電極表面刻制出 10μm 間距的蜂窩狀微孔,某神經工程團隊發現該結構使神經元突觸密度提升 20%,信號采集噪聲降低 35%。其無掩模特性支持根據不同腦區結構定制電極陣列,在大鼠海馬區電生理實驗中,單神經元信號識別率從 60% 提升至 85%,為腦機接口技術的臨床轉化奠定了硬件基礎。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。吉林德國POLOS桌面無掩模光刻機