本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，具體地，涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備中的工藝盤(pán)組件，以及一種包括該工藝盤(pán)組件的半導(dǎo)體設(shè)備。背景技術(shù)：半導(dǎo)體設(shè)備通常由工藝腔和設(shè)置在工藝腔內(nèi)的工藝盤(pán)組成，工藝盤(pán)用于承載待加工的工件，工件與工藝腔中通入的工藝氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或者由工藝氣體形成沉積物沉積在工件表面，完成晶片的外延等半導(dǎo)體工藝。為了保證工藝盤(pán)上熱量的均勻性，通常采用電機(jī)等設(shè)備驅(qū)動(dòng)工藝盤(pán)旋轉(zhuǎn)，目前的工藝盤(pán)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通常包括滑動(dòng)軸、襯套和石英轉(zhuǎn)軸。其中，石英轉(zhuǎn)軸用于驅(qū)動(dòng)工藝盤(pán)旋轉(zhuǎn)，襯套套設(shè)在滑動(dòng)軸上，石英轉(zhuǎn)軸套設(shè)在襯套上，且滑動(dòng)軸、襯套和石英轉(zhuǎn)軸三者軸線重合，襯套通過(guò)貼合面之間的摩擦作用將滑動(dòng)軸的扭矩傳遞至石英轉(zhuǎn)軸上。然而，基于這種結(jié)構(gòu)目前的半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)常出現(xiàn)工件放偏、工藝效果不佳、工藝盤(pán)旋轉(zhuǎn)卡頓等問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本實(shí)用新型旨在提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝盤(pán)組件，該工藝盤(pán)組件能夠解決上述技術(shù)問(wèn)題中的至少一者。為實(shí)現(xiàn)上述目的，作為本實(shí)用新型的***個(gè)方面，提供一種半導(dǎo)體設(shè)備中的工藝盤(pán)組件，包括工藝盤(pán)和工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸，所述工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸用于驅(qū)動(dòng)所述工藝盤(pán)旋轉(zhuǎn)，所述工藝盤(pán)組件還包括驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)襯套。提高生產(chǎn)率及產(chǎn)品壽命。安徽CPVC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工管材

    以避免軸承座10與工藝腔碰撞導(dǎo)致傳送組件精度下降。為進(jìn)一步提高傳動(dòng)筒4的穩(wěn)定性，避免外界物質(zhì)進(jìn)入軸承座10，推薦地，如圖3、圖4所示，工藝盤(pán)組件還包括密封襯套5，密封襯套5環(huán)繞設(shè)置在傳動(dòng)筒4的外壁上。需要說(shuō)明的是，密封襯套5與軸承座之間為固定連接關(guān)系，如圖4所示，推薦地，密封襯套5的內(nèi)壁上還設(shè)置有用于容納密封圈的密封圈槽，在傳動(dòng)筒4轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，與軸承座固定連接的密封襯套5持續(xù)地與傳動(dòng)筒4摩擦。為提高密封襯套5的耐磨性能，推薦地，密封襯套5為不銹鋼材料。在實(shí)驗(yàn)研究中，發(fā)明人還發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備工藝效果不佳的原因在于，個(gè)別軸套類(lèi)部件上的密封件在傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中會(huì)逐漸沿軸向移動(dòng)，偏離預(yù)定位置，造成半導(dǎo)體設(shè)備的氣密性下降。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，推薦地，如圖3、圖4、圖13所示，工藝盤(pán)組件還包括擋環(huán)7，傳動(dòng)筒4的外壁上形成有擋環(huán)槽43，擋環(huán)7環(huán)繞傳動(dòng)筒4設(shè)置在擋環(huán)槽43中，擋環(huán)7的外徑大于密封襯套5朝向工藝盤(pán)01一端的內(nèi)徑，以使得密封襯套5無(wú)法沿軸向運(yùn)動(dòng)通過(guò)擋環(huán)槽43所在的位置。在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，傳動(dòng)筒4的外壁上形成有擋環(huán)槽43，并在擋環(huán)槽43中設(shè)置擋環(huán)7，從而可以阻止密封襯套5軸向偏離，進(jìn)而避免了避免外界物質(zhì)進(jìn)入軸承座10。江蘇FRP半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工保冷耐溫、耐磨、可高效加工的高比強(qiáng)材料用于此領(lǐng)域。

    一般CNC加工通常是指計(jì)算機(jī)數(shù)字化控制精密機(jī)械加工，CNC加工車(chē)床、CNC加工銑床、CNC加工鏜銑床等。中文名CNC加工外文名CNCmachining別稱(chēng)CNC加工中心原則簡(jiǎn)化加工程序優(yōu)點(diǎn)加工質(zhì)量穩(wěn)定，加工精度高目錄1簡(jiǎn)介2CNC加工路線的確定3CNC優(yōu)缺點(diǎn)4數(shù)控加工CNC加工簡(jiǎn)介編輯CNC又叫做電腦鑼、CNCCH或數(shù)控機(jī)床其實(shí)是香港那邊的一種叫法，后來(lái)傳入大陸珠三角，其實(shí)就是數(shù)控銑床，在廣、江浙滬一帶有人叫“CNC加工中心”機(jī)械加工的一種，是新型加工技術(shù)，主要工作是編制加工程序，即將原來(lái)手工活轉(zhuǎn)為電腦編程。當(dāng)然需要有手工加工的經(jīng)驗(yàn)[1]。CNC加工CNC加工路線的確定編輯數(shù)控車(chē)床進(jìn)給加工路線指車(chē)刀從對(duì)刀點(diǎn)（或機(jī)床固定原點(diǎn)）開(kāi)始運(yùn)動(dòng)起，直至返回該點(diǎn)并結(jié)束加工程序所經(jīng)過(guò)的路徑，包括切削加工的路徑及刀具切入、切出等非切削空行程路徑。精加工的進(jìn)給路線基本上都是沿其零件輪廓順序進(jìn)行的，因此，確定進(jìn)給路線的工作重點(diǎn)是確定粗加工及空行程的進(jìn)給路線。在數(shù)控車(chē)床加工中，加工路線的確定一般要遵循以下幾方面原則。①應(yīng)能保證被加工工件的精度和表面粗糙度。②使加工路線**短，減少空行程時(shí)間，提高加工效率。③盡量簡(jiǎn)化數(shù)值計(jì)算的工作量，簡(jiǎn)化加工程序。④對(duì)于某些重復(fù)使用的程序。

    有機(jī)半導(dǎo)體材料可分為有機(jī)物，聚合物和給體受體絡(luò)合物三類(lèi)。有機(jī)半導(dǎo)體芯片等產(chǎn)品的生產(chǎn)能力差，但是擁有加工處理方便，結(jié)實(shí)耐用，成本低廉，耐磨耐用等特性。3、非晶半導(dǎo)體材料非晶半導(dǎo)體按鍵合力的性質(zhì)分為共價(jià)鍵非晶半導(dǎo)體和離子鍵非晶半導(dǎo)體兩類(lèi)，可用液相快冷方法和真空蒸汽或?yàn)R射的方法制備。在工業(yè)上，非晶半導(dǎo)體材料主要用于制備像傳感器，太陽(yáng)能鋰電池薄膜晶體管等非晶體半導(dǎo)體器件。4、化合物半導(dǎo)體材料化合物半導(dǎo)體材料種類(lèi)繁多，按元素在周期表族來(lái)分類(lèi)，分為三五族，二六族，四四族等。如今化合物半導(dǎo)體材料已經(jīng)在太陽(yáng)能電池，光電器件，超高速器件，微波等領(lǐng)域占據(jù)重要位置，且不同種類(lèi)具有不同的應(yīng)用。總之，半導(dǎo)體材料的發(fā)展迅速，應(yīng)用***，隨著時(shí)間的推移和技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體材料的應(yīng)用將更加重要和關(guān)鍵，半導(dǎo)體技術(shù)和半導(dǎo)體材料的發(fā)展也將走向更**的市場(chǎng)。第二代半導(dǎo)體材料的發(fā)展方向當(dāng)前化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展主要體現(xiàn)在以下五個(gè)方面。1.消費(fèi)類(lèi)光電子。光存貯、數(shù)字電視與全球家用電子產(chǎn)品裝備無(wú)線控制和數(shù)據(jù)連接的比例越來(lái)越高，音視頻裝置日益無(wú)線化。再加上筆記本電腦的普及，這類(lèi)產(chǎn)品的市場(chǎng)為化合物半導(dǎo)體產(chǎn)品的應(yīng)用帶來(lái)了龐大的新市場(chǎng)。我們材料加工完更平整、不易變形。

    冷卻后，得到碳化硅陶瓷。實(shí)施例2本實(shí)施例的碳化硅陶瓷的制備過(guò)程具體如下：(1)以氧化釔與碳化硅微粉的質(zhì)量比為3∶100，得到氯化釔與碳化硅微粉的質(zhì)量比為∶100，然后將氯化釔溶解在水和酒精的混合溶液中，溶解完全后加入***分散劑聚乙烯醇縮丁醛，然后加入粒徑為5μm碳化硅微粉，攪拌均勻，得到***漿料。在冰浴條件下加入與***漿料的質(zhì)量比為∶1的環(huán)氧丙烷，攪拌均勻得第二漿料。將第二漿料在閉式噴霧塔中噴霧，得到表面覆蓋有氧化釔的碳化硅顆粒。然后將碳化硅顆粒在真空條件、800℃下進(jìn)行熱處理，得到預(yù)處理顆粒。(2)將第二分散劑聚乙烯吡咯烷酮溶解在水中形成溶液，將***碳源炭黑和預(yù)處理顆粒在該溶液中均勻分散，再將粘接劑羧甲基纖維素鈉加入其中，進(jìn)行球磨，球磨過(guò)程中的轉(zhuǎn)速為200轉(zhuǎn)/分，球磨時(shí)間為3h，得到第三漿料，將第三漿料在噴霧造粒塔中噴霧，得到平均尺寸為120微米的造粒粉。(3)將造粒粉均勻填滿模具，進(jìn)行模壓成型，成型壓強(qiáng)為120mpa，保壓時(shí)間為50s，脫模，然后置入真空包裝袋中，抽真空，再置于等靜壓機(jī)中等靜壓成型，成型壓力為300mpa，保壓時(shí)間為120s，得到***預(yù)制坯。(4)將***預(yù)制坯放置于真空排膠爐中，以每分鐘℃的速度升溫至900℃，保溫3h。無(wú)論客戶的經(jīng)營(yíng)或生產(chǎn)場(chǎng)所位于何處，您都可隨時(shí)聯(lián)系我們化學(xué)高新材料的技術(shù)人員，為您提供支持。安徽CPVC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工管材

不僅為客戶節(jié)省了特定應(yīng)用測(cè)試的時(shí)間成本；安徽CPVC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工管材

    從而能夠緩解定位平面311兩側(cè)的應(yīng)力集中現(xiàn)象，提高了驅(qū)動(dòng)軸3和驅(qū)動(dòng)襯套2上應(yīng)力分布的均勻性。并且，在本實(shí)施例中，兩圓柱面312與驅(qū)動(dòng)襯套2套孔中的相應(yīng)圓柱面相配合，能夠?qū)崿F(xiàn)定位平面311的精確定位，保證定位平面311與驅(qū)動(dòng)襯套2套孔中的平面緊密貼合，避免平面之間的空隙導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)軸3和驅(qū)動(dòng)襯套2在傳動(dòng)過(guò)程中相互碰撞、磨損。此外，兩定位平面311以驅(qū)動(dòng)軸3的軸線為對(duì)稱(chēng)中心對(duì)稱(chēng)設(shè)置，使得驅(qū)動(dòng)軸3與驅(qū)動(dòng)襯套2通過(guò)平面?zhèn)鲃?dòng)時(shí)受到的力矩也是中心對(duì)稱(chēng)的，避免了驅(qū)動(dòng)襯套2與驅(qū)動(dòng)軸3的軸線之間發(fā)生偏移，保證了定位精度。為提高工藝盤(pán)組件結(jié)構(gòu)的整體強(qiáng)度，推薦地，如圖6所示，驅(qū)動(dòng)襯套2包括相互連接的***襯套部210和第二襯套部220，***襯套部210和第二襯套部220沿工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸1的軸線方向排列，第二襯套部220位于***襯套部210朝向驅(qū)動(dòng)軸體部320的一側(cè)，驅(qū)動(dòng)襯套2的套孔包括形成在***襯套部210中的驅(qū)動(dòng)通孔211和形成在第二襯套部220中的軸通孔221，驅(qū)動(dòng)通孔211與驅(qū)動(dòng)連接部310匹配；***襯套部210的外徑小于第二襯套部220的外徑，定位凸起222形成在第二襯套部220的外壁上，且第二襯套部220與工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸1的安裝孔相配合。在本實(shí)用新型的實(shí)施例中。安徽CPVC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工管材

朗泰克新材料技術(shù)（蘇州）股份有限公司屬于橡塑的高新企業(yè)，技術(shù)力量雄厚。公司是一家股份有限公司企業(yè)，以誠(chéng)信務(wù)實(shí)的創(chuàng)業(yè)精神、專(zhuān)業(yè)的管理團(tuán)隊(duì)、踏實(shí)的職工隊(duì)伍，努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品。以滿足顧客要求為己任；以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn)；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo)，提供***的塑料加工，塑料機(jī)械加工，絕緣材料加工，尼龍加工。朗泰克新材料以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務(wù)的理念，打造高指標(biāo)的服務(wù)，引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展。