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極測精密溫控，為光刻機打造極限穩定工作環境
光刻機作為芯片制造的關鍵設備，其工作環境的任何細微變化都可能對芯片制造的精度與質量產生深遠影響。其中，精密溫控成為保障光刻機穩定、高效運行的關鍵要素。南京拓展科技旗下企業，極測（南京）技術有限公司憑借強大的研發實力，推出的精密環控設備，以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制和可實現十級潔凈度的強大能力，成為光刻機的理想搭檔。目前已擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環境參數及使用需求，比如溫濕度穩定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等不同個性化需求。現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板排頭企業與國家重點實驗室，應用于眾多科研與生產場景。
光刻機工作對環境的嚴苛要求光刻機的工作原理基于高精度的光刻技術，通過將電路圖案投影到硅片上，實現芯片的制造。在這一過程中，溫度的微小波動都可能導致光刻機光學系統的熱脹冷縮，進而影響光刻精度，使芯片的線路出現偏差，降低芯片的良品率。因此，為光刻機營造一個穩定、精zhun的溫度環境至關重要。
極測精密溫控設備的關鍵作用
其高達 ±0.002℃的高精密溫度控制，能夠有效抑制溫度波動對光刻機的影響。且溫度水平均勻性小于 16mK/m。這種高標準的溫度控制精度，為光刻機的光學系統提供了恒定的溫度環境，極大地提升了光刻過程的穩定性與準確性，實現0.1% 的控制輸出精度。 同時，該設備內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h，避免了因濕度變化導致的光刻機零部件腐蝕和光學鏡片結霧等問題。在潔凈度方面，系統可實現百級以上潔凈度控制，內部潔凈度蕞高可優于 ISO class3（設備工作區），有效防止微小塵埃顆粒對光刻過程的干擾，確保光刻機在超凈環境中穩定運行。
數據記錄與智能功能助力生產管理
極測精密溫控設備具備強大的數據實時記錄查詢功能。設備運行過程中的溫度、濕度等關鍵數據自動生成曲線，方便操作人員直觀了解環境參數的變化趨勢。數據自動保存并可隨時以表格形式導出，同時設備的運行狀態、故障狀態等事件同步記錄，為企業的生產管理和質量追溯提供了詳實的數據支持。一旦出現異常情況，自動安全保護系統立即啟動，故障自動保護程序確保設備全天候無憂運行，并可通過遠程協助進行故障處理，蕞大程度減少因設備故障導致的生產停滯。
便捷設計與靜音運行優化工作體驗
考慮到半導體制造車間的實際布局需求，極測精密環控柜采用可拆卸鋁合金框架，大型設備可在現場輕松組裝，節省安裝時間與成本。箱體采用高質量鈑金材質，不僅堅固耐用，還可根據企業需求定制外觀顏色，與車間整體環境相融合。在運行過程中，設備采用 EC 風機和高效隔音材質，實現靜音高效運轉，噪音低于 45dB，為車間工作人員營造安靜舒適的工作環境，避免噪音對生產操作和設備調試造成干擾。
自推出以來，極測精密溫控設備已成功為眾多半導體制造企業的光刻機提供了穩定可靠的工作環境，獲得了特別好評。在半導體產業競爭日益激烈的當下，選擇極測精密溫控設備，就是為光刻機選擇了蕞可靠的溫度保障，為芯片制造的高精度、高效率生產奠定堅實基礎，助力企業在半導體領域搶占技術高地，贏得市場先機。
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