半導體晶圓的激光隱形切割技術(shù)是一種全新的激光切割工藝,具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵、無耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢。隱形切割主要原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間,在材料中間形成改質(zhì)層,然后通過外部施加壓力使芯片分開。晶圓切割是先進技術(shù)的**,標志著一個國家的先進水平,想要不出現(xiàn)被卡脖子的狀況,唯有發(fā)展自己的技術(shù),才能跳出這個泥潭,作為激光行業(yè)的**,超通智能針對半導體行業(yè)研發(fā)的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備目前已經(jīng)廣泛應用于LED芯片、MEMS芯片、FRID芯片、SIM芯片、存儲芯片等諸多晶圓的切割領(lǐng)域,為國家的進步做貢獻,實現(xiàn)國產(chǎn)化生產(chǎn),提升國家競爭力。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備有哪些種類?無錫超通智能告訴您。四川品質(zhì)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備廠家報價
設(shè)備介紹超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備,配備好品質(zhì)皮秒激光器,通過超高峰值功率的皮秒激光在玻璃晶圓內(nèi)部產(chǎn)生非線性自聚焦效應,達到激光成絲切割的效果。該設(shè)備還可應用于各類透明脆性材料的快速劃線、切割。二、設(shè)備特點?高性能皮秒激光器具有超高峰值功率、高光束質(zhì)量和穩(wěn)定性、超窄脈寬,聚焦光斑極小,*2-3μm,采用全新的貝塞爾激光成絲技術(shù),可實現(xiàn)3mm玻璃晶圓一刀切;?采用高精密直線電機和全閉環(huán)光柵檢測控制系統(tǒng),加工臺面可達400×400mm,保證穩(wěn)定高效生產(chǎn);?配備高像素視覺定位系統(tǒng),可抓取各類Mark點及輪廓,實現(xiàn)高精度圖像定位加工;?采用天然大理石的機床基座、高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計以及減震機床腳杯,很大程度減輕加速過程中產(chǎn)生的慣性震動,并可有效防止環(huán)境溫度變化引起的床身精度變化。浙江品質(zhì)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價錢無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的優(yōu)勢。
超通智能本著以質(zhì)量求生存,以用戶效益求發(fā)展,的服務理念,完善的質(zhì)量管理體系、合理的價格,真誠為用戶提供*的服務。激光屬于無接觸式加工,不對晶圓產(chǎn)生機械應力的作用,對晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點,聚焦點可小到微米數(shù)量級,從而對晶圓的微處理具有優(yōu)越性,可以進行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進行材料加工。大多數(shù)材料吸收激光直接將硅材料氣化,形成溝道。從而實現(xiàn)切割的目的因為光斑點較小,較低限度的炭化影響。
激光劃片是利用高能激光束照射工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化,從而達到去除材料,實現(xiàn)劃片的過程。激光劃片是非接觸式加工,無機械應力損傷,加工方式靈活,不存在刀具損耗和水污染,設(shè)備使用維護成本低。為避免激光劃透晶圓時損傷支撐膜,采用耐高溫燒蝕的UV膜。目前,激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器,波長主要有1064nm、532nm、355nm三種,脈寬為納秒、皮秒和飛秒級。理論上,激光波長越短、脈寬越短,加工熱效應越小,有利于微細精密加工,但成本相對較高。355nm的紫外納秒激光器因其技術(shù)成熟、成本低、加工熱效應小,應用非常***。近幾年1064nm的皮秒激光器技術(shù)發(fā)展迅速,應用到很多新領(lǐng)域,獲得了很好的效果。無錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的市場價格。
晶圓切割(即劃片)是芯片制造工藝流程中一道不可或缺的工序,在晶圓制造中屬于后道工序。晶圓切割就是將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片(晶粒)。**早的晶圓是用切片系統(tǒng)進行切割(劃片)的,這種方法以往占據(jù)了世界芯片切割市場的較大份額,特別是在非集成電路晶圓切割領(lǐng)域。鉆石鋸片(砂輪)切割方法是較為常見的晶圓切割方法。新型切割方式有采用激光進行無切割式加工的。晶圓切割工藝流程主要包括:繃片、切割、UV照射。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的市場應用分析。山東超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價錢
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激光劃片在晶圓加工方面具備以下優(yōu)勢:1.激光劃片采用的高光束質(zhì)量的光纖激光器,對芯片的電性影響較小,可以提供更高的劃片成品率。2.激光劃片速度為150mm/s。劃片速度較**.激光可以切割厚度較薄的晶圓,可以勝任不同厚度的晶圓劃片。可以切割一些較復雜的晶圓芯片,如六邊形管芯等。4.激光劃片不用去離子水,可24小時連續(xù)作業(yè)5.激光劃片具有更好的兼容性和通用性。超通智能在激光晶圓處理上就具備豐富的經(jīng)驗,如刀輪切割設(shè)備,外觀尺寸小型化,占地面積小,切割行程**功率主軸,高速高精度電機,閉環(huán)運動控制,確保生產(chǎn)效率。四川品質(zhì)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備廠家報價
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