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廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-05
采用五面加熱設計（頂部、底部、左右側、背部），配合雙循環熱風系統，溫度均勻性≤±1.5℃（300mm×300mm 區域）。廣東華芯半導體技術有限公司的設備在甲酸活化區增設單獨溫控模塊，確保局部溫度精確可控。
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