佑光智能半導體科技(深圳)有限公司2025-05-22
固晶機的操作流程一般如下:
1.?準備工作:檢查設備是否正常,包括機械部件、電氣系統、視覺系統等。準備好所需的材料,如芯片、基板、固晶膠等,并根據產品要求進行相應的調試和參數設置。
2.?上料:將芯片和基板分別放置在固晶機的相應上料位置,通常芯片會放在晶圓承載臺上,基板則放置在工作臺上的定位夾具中。
3.?校準與定位:通過視覺系統對芯片和基板進行校準,確定它們的準確位置和姿態,確保固晶的精度。
4.?點膠:根據工藝要求,使用點膠裝置在基板上需要固晶的位置精確地點上適量的固晶膠。
5.?取晶:固晶機的吸嘴下降到晶圓承載臺上,吸取芯片,吸嘴的吸力要適中,以確保芯片被穩定吸取且不損壞芯片。
6.?固晶:吸嘴帶著芯片移動到基板上方,根據之前校準的位置,將芯片準確地放置在基板上的點膠位置,使芯片與膠水充分接觸并黏附。
7.?檢測:通過視覺檢測系統對固晶后的芯片進行檢測,檢查芯片的位置、角度、黏附情況等是否符合要求,如有不良品則進行標記或剔除。
8.?下料:將固晶完成的基板從工作臺上取下,放置到指定的下料位置,然后進行下一輪的固晶操作。
不同型號和用途的固晶機在具體操作上可能會有一些差異,但總體流程大致相同。
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