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如何正確操作氧化退火爐??

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賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司2025-04-05

操作氧化退火爐前,要先檢查設備各部件是否正常,包括加熱元件有無損壞、氣體管道是否泄漏、溫度傳感器是否校準等。然后,根據工藝要求設置好溫度控制系統的升溫速率、目標溫度、保溫時間以及降溫速率等參數,同時設置好氣體供應系統的氣體種類、流量和壓力。將待處理材料小心放置在爐內載具上,關閉爐門。啟動設備,讓其按照設定程序升溫、保溫和降溫。在運行過程中,密切關注設備的溫度顯示、氣體流量等參數,如有異常及時停機排查。設備運行結束,待爐內溫度降至安全范圍后,打開爐門取出材料。整個操作過程需嚴格遵循操作規程,避免因操作不當引發安全事故或影響材料處理質量。?

賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司
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簡介:賽瑞達成立于2021年,專注于半導體設備的研發、生產與銷售。公司位于無錫,致力于提供定制化解決方案。
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賽瑞達致力于成為半導體裝備的主導品牌。
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