真空機中真空處理設備技術方案【產品定位】

本設備是針對盲孔類工件電鍍及前處理工藝研發的專業真空處理系統，適用于半導體、精密電子、航空航天等領域的復雜結構工件處理。

【功能】

1.真空置換系統：采用旋片式真空泵組，可在60秒內將工作腔壓力降至10mbar以下，通過動態真空置換技術實現盲孔內空氣的高效抽離

2.智能補液系統：配備流量閉環控制系統，可根據工件孔徑自動調節藥液填充速率，確保微孔填充率≥99.8%

3.工藝可視化：配置5.7英寸工業級觸控屏，實時顯示真空度、液位高度、處理時間等關鍵參數

【技術優勢】

1.采用304不銹鋼內膽+高硼硅玻璃視窗組合，耐酸堿腐蝕且便于觀察

2.可調式硅橡膠密封條配合氣壓補償裝置，確保真空度穩定維持在±0.5mbar

3.模塊化設計支持單工位/雙工位/多工位擴展，處理效率提升40%以上

【應用價值】

通過建立可控的負壓環境，有效解決盲孔類工件因氣穴導致的漏鍍、膜厚不均等問題，使鍍層均勻性提升至±5μm以內，降低不良品率。設備符合ISO9001質量管理體系及CE安全認證，已成功應用于100+客戶的量產線，平均提升良品率25%，降低生產成本18%。 通過 CE 安全認證，配備雙重聯鎖保護裝置，防止誤操作引發的安全事故。江蘇模塊化真空機

真空除油設備的定義

一、基本概念

1.通過真空泵將設備內部氣壓降至常壓以下（通常-0.08~-0.1MPa），形成負壓環境。

2.利用真空狀態下液體沸點降低、滲透力增強的特性，實現深度除油。

二、負壓技術的作用

1.強化滲透：負壓使液體快速填充盲孔，排出空氣并沖刷油污。

2.微氣泡清洗：液體沸騰產生的微氣泡破裂時釋放能量，剝離頑固附著物。

3.低溫干燥：真空環境下液體蒸發速度提升5~10倍，避免高溫損傷基材。

三、部件

真空罐體：密閉容器，承載工件并維持負壓。

真空泵組：多級羅茨泵+旋片泵組合，快速抽氣并維持真空度。

加熱系統：控制液體溫度（通常40~60℃）。

超聲波發生器（可選）：增強空化效應，提升清洗效率。 湖南真空機行業標準傳統工藝成本 25%，負壓電鍍省到底！

志成達研發的真空機，真空除油設備通過引入微波加熱輔助技術

可在10-15秒內將頑固油污分子鏈斷裂，配合真空環境下的分子擴散效應，實現金屬加工件表面油膜殘留量低于0.05μm，特別適用于精密齒輪、軸承等動密封部件的超凈處理。在半導體晶圓制造領域，真空除油設備采用兆聲波（1-3MHz）空化效應與真空干燥相結合的工藝，可去除直徑小于50nm的納米級油污顆粒，同時通過靜電消除裝置防止二次污染，滿足12英寸晶圓對潔凈度的苛刻要求。真空除油設備創新應用膜分離技術，將溶劑回收系統與真空蒸餾單元集成，實現每小時處理2000L混合油污的能力，其分離純度可達99.9%，為PCB線路板、光學玻璃等行業提供經濟高效的油污處理方案。

真空機中脈沖真空技術的原理

通過周期性壓力波動突破傳統靜態真空處理的局限性，其工作原理可拆解為以下機制：

一、壓力脈沖生成機制

1.動態真空調控

采用伺服真空泵組與快速響應閥門，在基礎真空度（如10?1Pa）與脈沖峰值（10~100Pa）間循環切換，形成0.1~5Hz的壓力波動。壓力振幅可達基礎真空度的100倍，產生局部壓力梯度差（ΔP=10?1~102Pa）。

2.脈沖波形控制

二、技術優勢對比

指標                            傳統真空                          脈沖真空                  提升幅度           

盲孔除油率                  60%~75%                      92%~98%              +53%~+143%

處理時間                      20~30分鐘                      15~20分鐘              -25%~-33%                                          能耗                           1.2~1.5kWh/kg                   1.0~1.2kWh/kg       -17%~-20% 真空除油設備通過真空負壓環境，將盲孔內殘留油污分子級剝離，解決傳統浸泡無法觸及的深層清潔難題。

真空除油設備特殊工況應用型

深海裝備真空除油解決方案

1.針對深海探測器部件的嚴苛工況，設備采用三重特殊設計：

2.耐壓結構：采用鈦合金腔體，可承受60MPa外部壓力，內部維持-95kPa真空環境；

3.低溫處理：配置液氮預冷系統，將油液溫度降至-20℃，使蠟質污染物結晶析出；

4.脈動清洗：結合超聲波振動與脈沖壓力，深海礦物油形成的納米級油膜。

傳統工藝vs真空除油技術對比

工藝類型           工作原理                           優勢局限                        局限

離心分離          利用離心力分離油水           設備成本低                     脫水效率<75%

化學清洗         添加破乳劑，分離雜質          初期效果                       產生大量危化品               

真空除油        真空環境下低溫蒸發           深度凈化+環保設備              投資較高 真空負壓 + 動態壓力，盲孔鍍層 0 微孔缺陷！湖南真空機行業標準

設備配備精密壓力傳感器，實時監測盲孔內部壓力變化，確保清洗過程安全可控。江蘇模塊化真空機

真空除油設備負壓技術的工作流程

該技術通過六階段閉環系統實現高效除油：

1.預處理：工件置于可旋轉支架，采用氮氣密封艙體至10?3Pa級氣密性。

2.抽真空：多級泵組3-5分鐘內將壓力降至100Pa，主泵進一步達10?1Pa以下，同步預加熱至30-80℃。

3.負壓蒸發：紅外加熱結合循環氣流，礦物油在0.09MPa下沸點降至80℃，薄油膜5-10分鐘完成蒸發。

4.冷凝回收：-20℃半導體制冷片實現99%油蒸氣回收，分離凈化后循環使用。

5.干燥破空：真空干燥至-40℃，充入-60℃氮氣并設氣流屏障防污染。

6.后處理：激光測厚檢測油膜厚度，集成MES系統自動匹配參數，預測性維護周期超5000小時。 江蘇模塊化真空機