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晶圓片隔振臺試用

來源: 發布時間:2021-02-14

TS-140 +40結合了久經考驗的技術***性與優雅且用戶友好的設計

TS-140 +40的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz后迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的自動高度調節機制即使在負載發生重大變化后也能將頂板穩定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”

用戶友好,實用的操作優勢是創新建筑理念的結果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*為28.5千克 LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬,以便在附近移動時不會明顯傾斜。晶圓片隔振臺試用

TS-150

TS-150結合了久經考驗的技術特點和優雅且用戶友好的設計

TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性

TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的**于載荷的自動高度調節機構即使在載荷發生重大變化后也能將頂板穩定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”


頻率:0,7-1000 Hz

負載范圍:0-150公斤

尺寸 :400 x 450 x 78.5 毫米


TS-150結合了久經考驗的技術***性和優雅且用戶友好的設計。TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多。

TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性。TS 150的出色性能包括所有六個平移和旋轉振動模式精確的**于載荷的自動高度調節機構即使在載荷發生重大變化后也能將頂板穩定在比較好工作水平。遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好,實用的操作優勢是創新建筑理念的結果。

TS-150的高度*為78.5毫米

TS-150的重量*為17.5千克 AVI-400SLP隔振臺價格怎么樣Herz 防震臺/防振臺是世界上****的防震臺/防振臺系統方案供應商之一。

AVI 200-XL的隔離始于1,2 Hz,然后迅速增加至超過10Hz的35dB

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能

AVI 200-XL系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性

AVI 200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現中比較復雜的過程。

技術指標:

頻率: 1,2-200 Hz

負載范圍: 0-400公斤

AVI 200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,比較大可以負載400公斤。通過增加隔離模塊的數量,可以輕松承受更高的負載。為了使AVI

200-M適應用戶特定的應用,可以按特殊順序提供不同長度的單個模塊。

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,與標準AVI/LP系統結合使用在前饋回路中,以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復裝到現有的AVI/LP系統中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統上測量的垂直和水平隔離(可傳輸性),其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP進行測量,增益設置為128(V)和150(H)。


輸入電壓:115/230V

AC,50-60Hz        功耗:比較大20瓦

頻率范圍:0.2-20Hz       尺寸傳感器:255x245x107mm(長x寬x高)

電源尺寸:265x155x73mm(長x寬x高) 重量傳感器:5.9kg

供電重量:1.6kg                        應用:室內

防護等級:IP 20                        溫度范圍 :5°C-40°C

相對濕度:10–90%(5–30°C)


Table Stable生產的主動式微振動控制系統AVI是一款多功能的主動式防振系統,具有**的防振單元和控制器。

LFS

LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,并與標準AVI / LP系統結合使用在前饋環路中,以提高非常低頻率的振動隔離。LFS可以改裝為現有的AVI-LP系統。

LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設備的安全規定,并滿足EEC指令73/23的相關要求。系統符合EEC指令89/336(電磁兼容性)

每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器。 使用壓電力馬達的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動,還可以隔離放置在系統本身上的振動源。北京隔振臺學校會用嗎

AVI 200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,比較大可以負載400公斤。晶圓片隔振臺試用

TS-150安全守則

?只能將系統插入具有單獨接地的插座。 不要斷開此連接通過插座或使用不接地的延長線接地。

?在打開本設備之前,請確保已將其連接到正確的電源電壓。

?請勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進入設備的任何開口。

?請勿拆卸或嘗試維修系統。 這可能會導致電擊或損壞到系統。

?卸下任何主機蓋之前,請先斷開電源。 請把維修交給合格的人員。

?請勿在有危險的環境中使用。

?請勿在頂板上鉆任何孔。 這會損壞系統。

?如果您懷疑系統有任何不安全之處,請拔下電源插頭并防止可能發生的意外事 故用法。 請與您**近的服務中心聯系。


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