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芯片隔振臺質量怎么樣

來源: 發布時間:2020-01-25

AVI主動隔震臺

AVI應用于掃描電鏡

1、如有可能,拆下掃描電鏡柱的側板。

2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木塊以增加高度。

3、拆下主銷后傾角和主銷后傾角螺栓(如有必要)。

4、將***個鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平儀確保盤子坐平。按下所有角落,確保其與地面齊平。如果不水平或不齊平,則使用墊片確保水平,并在各側均勻地放置在地面上。

如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。 示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的。芯片隔振臺質量怎么樣

使用說明書

解鎖系統后,將設備放置在平坦且堅固的桌子上或地下。

調整負載補償:

將負載放在**上面,并使用以下三個調整負載補償側面的車輪到外殼和頂板之間的距離為2mm。

沿+方向旋轉輪子以增加負載補償方向旋轉車輪以減少負載補償

按下并檢查每個角是否有約0.5mm的自由移動。輕輕地上下拉頂板!

更改負載后,檢查每個角是否自由移動!

將電源插頭連接到背面的輸入電源插座。

按下背面的電源按鈕打開設備“ POWER” LED將點亮,而“ ACTIVE” LED開始閃爍。

大約30秒鐘后,“活動” LED將保持點亮狀態,并且系統現在可以使用了。

您可以通過按“啟用”按鈕來打開和關閉活動隔離。


SEM隔振臺推薦廠家振動分析系統VA-2C是帶有遠程測量頭的系統,可輕松測量三個正交方向上的加速度,速度或位移。

1、使用2 mm內六角扳手(包括在內)拆下模塊端板。

2、根據掃描電鏡的重量調整模塊。

在每個中心柱上的橫梁上方和下方應該有一個間隙,允許每側大約有2mm的行程。

B、使用M6活動扳手(包括)轉動位于支撐彈簧頂部的調整螺母。向右轉動扳手可降低模塊并增加上部間隙(在**止動螺母和橫撐之間)。向左轉動扳手可升高模塊并減小上部間隙。

C、計算每個螺母的圈數;盡可能均勻地調整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。

D、不要轉動螺母太遠,否則可能損壞系統。在任何情況下,外露螺紋不得超過10mm

3.裝回模塊上的端板

LFS

LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,并與標準AVI / LP系統結合使用在前饋環路中,以提高非常低頻率的振動隔離。LFS可以改裝為現有的AVI-LP系統。

LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設備的安全規定,并滿足EEC指令73/23的相關要求。系統符合EEC指令89/336(電磁兼容性)

每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器。 TS-140的高度*為84毫米。

傳感器位置

傳感器可以移動到任何期望的位置。 它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后連接時,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。


支撐面的剛性

支撐表面的剛性很重要。 水平傳感器無法區分在水平加速度和傾斜之間。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬,以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。 傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。


運作方式

設置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。 綠色LED將點亮。 紅色LED開始閃爍,這意味著存在一些振動。現在,您可以通過按啟用按鈕來啟用系統。 紅色LED不應點亮了。 如果它們點亮,則表示系統過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。


請注意,如果未啟用LFS,則它將無效。


敏感的傳感器單元,請勿撞擊,敲打或跌落!


安裝好后參數不需要調整。光刻機隔振臺技術支持

AVI主動隔振系統幫助精密儀器在基礎研究、應用研究、生產等方面創造穩定的測量和生產環境。芯片隔振臺質量怎么樣

    技術指標:頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米

隔離:動態(超過1kHz)

透射率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)

矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N

靜態合規性:大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N

比較大負載:140公斤尺寸:500x600x84毫米

重量:28.5kg

電的安全等級:1個能量消耗:比較大10W負載調整時20W輸入電壓:115-230VAC+/-10%50-60Hz

超載:顯示屏指示負載過重或嚴重失衡

監控信號:示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的

前面板顯示菜單:顯示儀器狀態,包括:-高度調節-隔離開/關-過載-運輸鎖定-技術熱線

桌上尺寸:500x600毫米。 芯片隔振臺質量怎么樣

岱美儀器技術服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司。岱美儀器技術服務作為磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的企業之一,為客戶提供良好的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務繼續堅定不移地走高質量發展道路,既要實現基本面穩定增長,又要聚焦關鍵領域,實現轉型再突破。岱美儀器技術服務創始人陳玲玲,始終關注客戶,創新科技,竭誠為客戶提供良好的服務。

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