真空熱壓工藝:真空環境下壓制:將ITO粉末在真空環境下通過熱壓工藝進行成型。真空環境可以有效防止材料氧化,并且可以減少雜質的引入。同步進行熱處理:與傳統的壓制成型不同,真空熱壓將壓制和熱處理合二為一,粉末在壓力和溫度的作用下同時進行燒結,這有助于獲得更高密度和...
化學特性化學穩定性:碳化硅在多數酸性和堿性環境中都顯示出極好的化學穩定性,這一特性是制造過程中重要的考量因素,確保了長期運行的可靠性和穩定性。耐腐蝕性:碳化硅能夠抵抗多種化學物質的腐蝕,包括酸、堿和鹽。這使得碳化硅靶材在化學蝕刻和清潔過程中,能夠保持其完整性和...
其常見的靶材及其應用:如碲化銦(IndiumSelenide,InSe)靶材:碲化銦是一種半導體材料,具有優異的光電性能和可調諧的能帶結構。它被廣泛應用于太陽能電池、光電二極管、光伏探測器、紅外光電探測器等器件的制備中。如碲化鎘(CadmiumSelenide...
(1)靶坯是高速離子束流轟擊的目標材料,屬于濺射靶材的**部分,涉及高純金屬、晶粒取向調控。在濺射鍍膜過程中,靶坯被離子撞擊后,其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜。(2)背板起到主要起到固定濺射靶材的作用,涉及焊接工藝。由于高純度金屬強度較低,...
靶材是用于物理或化學蒸發過程的源材料,在工業和科研領域中具有重要應用。不同種類的靶材具有不同的特性和適用范圍,如金屬靶材適用于電子和光學薄膜的制備,氧化物靶材在制造透明導電薄膜和光電器件中扮演重要角色,陶瓷靶材適用于制造耐磨薄膜和保護涂層,半導體靶材用于制造微...
7.配套設備與耗材銅背板綁定: 銅背板與鎳靶材結合使用,用于提高熱傳導效率。銅具有高熱導率,有助于在濺射過程中快速散熱,防止靶材過熱損壞。粘接劑: 使用**粘接劑(如銀膠)將鎳靶材與銅背板或其他支撐結構緊密粘合。這種粘接劑需具有良好的熱導性和電導性。濺射設備:...
二、制備方法:粉末冶金法:混合:首先,將氧化銦(In2O3)與少量的氧化錫(SnO2)粉末按一定比例混合,這一比例直接決定了ITO靶材的**終電學性質。球磨:混合后的粉末會進行球磨處理,以提高粉末的均勻性和反應活性,球磨時間和方式對粉末粒徑和形貌有著重要影響。...
從整體上看,ITO在光電綜合性能上高于AZO靶材,但AZO靶材的優勢或將為靶材帶來降本空間。在相關實驗中利用AZO靶材和ITO靶材制備了3組實驗薄膜(共6份樣品)。實驗中主要從光學性能和電學性能上對AZO薄膜和ITO薄膜進行了對比。在特定情況下AZO靶材與IT...
陶瓷靶材和金屬靶材各自優缺點:1.導電性:金屬靶材都具有導電性,可以適應各種不同電源類型機臺,而陶瓷靶材因為大部分不具備導電性,只能使用射頻電源.2.導熱性:金屬靶材導熱性能好,濺射時可以大功率運行.陶瓷靶材導熱性較差,濺射時功率不宜過高.復合性:3.金屬靶材...
光伏領域對靶材的使用主要是薄膜電池和HJT光伏電池。以HJT電池片為例,在HJT電池片結構中具有TCO薄膜層,該薄膜承擔著透光以及導電的重要作用。應用PVD技術,使離子和靶材表面的原子離開靶材,在基底上形成透明導電薄膜。以鈣鈦礦電池結構為例,鈣鈦礦電池是由多層...
鈣鈦礦太陽電池在短短數十年間不斷刷新轉換效率。基于正置的鈣鈦礦太陽電池面臨著眾多問題,如遲滯較大,光熱穩定性差等,相較之下倒置結構可以較好的解決上述問題。倒置結構中空穴傳輸層主要有氧化鎳(NiOx)、聚(3,4-乙烯二氧噻吩):聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT:P...
磁控濺射鍍膜是一種新型的氣相鍍膜方式,就是用電子槍系統把電子發射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材濺射是制備薄膜材料的主要技術之一,它利用離子源產生的離子,在真空中經過加速...
ITO陶瓷靶材在磁控濺射過程中,靶材表面受到Ar轟擊和被濺射原子再沉積的多重作用而發生復雜的物理化學變化,ITO靶材表面會產生許多小的結瘤,這個現象被稱為ITO靶材的毒化現象。靶材結瘤毒化后.靶材的濺射速率降低,孤光放電頻率增加,所制備的薄膜電阻增加,透光率降...
陶瓷靶材的種類及各自應用按應用來分,可分為半導體關聯陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、磁記錄陶瓷靶材、光記錄陶瓷靶材、超導陶瓷靶材、巨磁電阻陶瓷靶材等.半導體關聯陶瓷靶材(HfO,SiO,Si3N4,MoSi,TaSi,WSi,TiSi,PLZT,ITO,主要應用于柵極...
磁控濺射鍍膜是一種新型的氣相鍍膜方式,就是用電子槍系統把電子發射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材濺射是制備薄膜材料的主要技術之一,它利用離子源產生的離子,在真空中經過加速...
陶瓷靶材和金屬靶材各自優缺點:1.導電性:金屬靶材都具有導電性,可以適應各種不同電源類型機臺,而陶瓷靶材因為大部分不具備導電性,只能使用射頻電源.2.導熱性:金屬靶材導熱性能好,濺射時可以大功率運行.陶瓷靶材導熱性較差,濺射時功率不宜過高.復合性:3.金屬靶材...
濺射靶材開裂原因生產中使用的冷卻水溫度與鍍膜線實際水溫存在差異,導致使用過程中靶材開裂。一般來說,輕微的裂紋不會對鍍膜生產產生很大的影響。但當靶材有明顯裂紋時,電荷很容易集中在裂紋邊緣,導致靶材表面異常放電。放電會導致落渣、成膜異常、產品報廢增加。陶瓷或脆性材...
薄膜晶體管液晶顯示器(英語:Thin film transistor liquid crystal display,常簡稱為TFT-LCD)是多數液晶顯示器的一種,它使用薄膜晶體管技術改善影象品質。雖然TFT-LCD被統稱為LCD,不過它是種主動式矩陣LCD,...
靶材開裂影響因素裂紋形成通常發生在陶瓷濺射靶材(如氧化物、碳化物、氮化物等)和脆性材料濺射靶材(如鉻、銻、鉍等)中。陶瓷或脆性材料目標始終包含固有應力。這些內應力是在靶材制造過程中產生的。此外,這些應力不能通過退火過程完全消除,因為它是這些材料的固有特性。在濺...
靶材間隙對大面積鍍膜的影響除了致密化,如果靶材在生產過程中出現異常,大顆粒會因受熱而脫落或縮孔。結果會形成更多的氣孔(內部缺陷),靶材中更大或更密的氣孔會因電荷集中而放電,影響使用。靶材密度低,加工、運輸或安裝時氣孔易破裂。相對密度高、孔隙少的靶材具有良好的導...
靶材是半導體、顯示面板、異質結光伏領域等的關鍵材料,存在工藝不可替代性。據測算 2019年全球靶材市場規模在 160 億美元左右,而國內總需求占比超 30%。本土廠商供給約占國內市場的 30%,以中低端產品為主,先進靶材主要從美日韓進口,當前國內頭部企業靶材合...
ITO靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(1600度,通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體。ito薄膜是利用ito材作為原材料,通過磁控濺射把ito氣化濺渡到玻璃基板或柔性有機薄膜上ito材主要是在平板顯示器中...
如何制成良好的陶瓷靶材也是需要注意的地方。1.成型方法:為了減少陶瓷靶材的氣孔,提高薄膜性能,要求濺射陶瓷靶材具有高密度、低氣孔率、高密度意味著陶瓷體內晶粒排列緊密,在承受外界載荷或腐蝕性物質侵蝕的時候不易形成破壞性的突破點。而要得到鈣質密度的陶瓷胚體,成型方...
江蘇迪納科精細材料股份有限公司是一家主要生產和銷售陶瓷,金屬,合金等各類型靶材。陶瓷靶材以氧化銦基和氧化鋅基為主,金屬和合金靶材以各種熔煉工藝和擠壓鍛造工藝為主。ITO靶材應用領域1、平板顯示器(純度4N)在平板顯示領域,ITO靶材主要用于制作ITO導電玻璃及...
陶瓷靶材是一種重要的濺射靶材,廣泛應用于各個領域的薄膜制備和表面處理。作為一種高純度、高密度的材料,陶瓷靶材具有許多獨特的特點和優勢。首先,陶瓷靶材具有優異的化學穩定性和熱穩定性,能夠在高溫和復雜的化學環境下保持穩定的性能。這使得陶瓷靶材在各種薄膜制備過程中能...
ITO靶材被廣泛應用于各大行業之中,其主要應用分為:平板顯示器(FPD)產業,薄膜晶體管顯示器(TFT-LCD)、液晶顯示器(LCD)、電激發光顯示器(EL)、電致有機發光平面顯示器(OELD)、場發射顯示器(FED)、等離子顯示器(PDP)等;光伏產業,如薄...
ITO靶材生產過程包括金屬提純和靶材制造兩個主要環節。因高純金屬原料的品質影響靶材的導電性能等性狀,對成膜的質量有較大影響,且靶材種類繁多,客戶需求非標,定制屬性明顯。故而金屬提純環節技術壁壘及附加值均較高。其中銦屬于稀散金屬,因其具有可塑性、延展性、光滲透性...
從ITO靶材制備方法來看,制備方法多樣,冷等靜壓優勢突出。ITO靶材的制備方法主要有4種,分別為熱壓法、熱等靜壓法、常溫燒結法、冷等靜壓法。冷等靜壓法制備ITO靶材優點:1)冷等靜壓法壓力較大,工件受力相對更加均勻,尤其適用于壓制大尺寸粉末制品,符合ITO靶材...
靶材安裝注意事項靶材安裝過程中非常重要的注意事項是一定要確保在靶材和濺射腔體冷卻壁之間建立很好的導熱連接。如果冷卻壁的翹曲程度嚴重或背板翹曲嚴重會造成靶材安裝時發生開裂或彎曲,背靶到靶材的導熱性能就會受到很大的影響,導致在濺射過程中熱量無法散發**終會造成靶材...
磁控濺射時靶材表面變黑我們可以想到的1、可能靶材是多孔的,(細孔)在孔中有一些有機污染物(極端可能性);2、可能靶材有點粗糙,用紙巾用異丙醇擦拭,粗糙的表面在目標表面保留了一些細薄的組織纖維,這可能是碳污染的來源;3、沉積速率可能相當高,并產生非常粗糙的沉積物...