光刻設備對溫濕度的要求也極高，光源發出的光線需經過一系列復雜的光學系統聚焦到硅片表面特定區域，以實現對光刻膠的曝光，將設計好的電路圖案印制上去。當環境溫度出現極其微小的波動，哪怕只是零點幾攝氏度的變化，光刻機內部的精密光學元件就會因熱脹冷縮特性而產生細微的尺寸改變。這些光學元件包括鏡片、反射鏡等，它們的微小位移或形狀變化，會使得光路發生偏差。原本校準、聚焦于硅片特定坐標的光線，就可能因為光路的改變而偏離預定的曝光位置，出現曝光位置的漂移。擁有超高水準潔凈度控制能力，可達百級以上潔凈標準。0.05℃環境控制房

對于光學儀器，溫度哪怕有細微變化，都會引發諸多問題。由于大多數光學儀器采用了玻璃鏡片、金屬鏡筒等不同材質的部件，這些材料熱膨脹系數各異。當溫度升高時，鏡片會膨脹，鏡筒等支撐結構也會發生相應變化，若膨脹程度不一致，就會使鏡片在鏡筒內的位置精度受到影響，光路隨之發生偏差。例如在顯微鏡觀察中，原本清晰聚焦的樣本圖像會突然變得模糊，科研人員無法準確獲取樣本細節，影響實驗數據的準確性。對于望遠鏡而言，溫度波動導致的光路變化，會讓觀測天體時的成像偏離理想位置，錯過重要天文現象的記錄。浙江環境環境可實現潔凈度百級、十級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環境控制。

精密環控柜能夠實現如此性能，背后蘊含著先進而復雜的原理。在溫度控制方面，自主研發的高精密控溫技術是關鍵所在。通過高精度傳感器實時監測柜內溫度，將數據反饋至控制系統。控制系統依據預設的精確溫度值，以 0.1% 的控制輸出精度，調節制冷（熱）系統的運行功率。例如，當溫度高于設定值時，制冷系統迅速啟動，精確控制制冷量，使溫度快速回落至目標范圍；反之，加熱系統則及時介入。對于濕度控制，利用先進的濕度調節裝置，通過冷凝除濕或蒸汽加濕等方式，依據傳感器反饋的濕度數據，將設備內部濕度穩定性控制在 ±0.5%@8h 。在潔凈度控制上，采用多層高效潔凈過濾器，通過物理攔截、靜電吸附等原理，對進入柜內的空氣進行深度過濾，確保可實現百級以上潔凈度控制，工作區潔凈度優于 ISO class3 。

在芯片這一高科技產品的復雜生產流程里，眾多環節對溫濕度的波動展現出了近乎苛刻的精密度要求。光刻過程中，利用高精度的光刻設備，將預先設計好的復雜電路圖案轉移至硅片表面。溫度的穩定性起著決定性作用，哪怕有零點幾攝氏度的微小波動，都會使光刻膠內部的化學反應速率產生偏差。光刻膠作為一種對光敏感的高分子材料，其反應速率的改變將直接作用于光刻成像效果，致使圖案邊緣模糊、線條粗細不均，進而讓芯片上的線路出現偏差，甚至引發短路故障，讓前期投入的大量人力、物力和時間付諸東流。與此同時，濕度因素同樣不可小覷。光刻車間若濕度偏高，水汽極易滲透至光刻膠內部，使其含水量上升，感光度隨之降低，如同給精密的 “光刻鏡頭” 蒙上一層霧靄，嚴重影響光刻精度，導致芯片良品率大打折扣，大幅增加生產成本。主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成。

如在航空航天領域的制造工藝對精度要求極高，任何微小的誤差都可能在飛行器高速飛行、復雜環境運行時引發嚴重后果。精密環控柜在航空航天精密制造過程中扮演著保駕護航的角色。在航空發動機零部件的制造中，如渦輪葉片的加工，葉片的尺寸精度和表面質量直接影響發動機的性能和效率。精密環控柜通過控制生產車間的溫濕度，避免加工設備因溫度變化產生熱變形，確保刀具切削路徑的準確性，從而保證渦輪葉片的加工精度符合嚴格標準。同時，穩定的濕度環境可防止金屬材料生銹腐蝕，延長刀具使用壽命，減少因設備故障和材料損耗帶來的生產成本增加。制冷單元內部采用高效隔音材質，進一步降低設備噪音，噪音<45dB。半導體環境調節

其控制系統精細處理循環氣流各環節，確保柜內溫濕度的超高精度控制。0.05℃環境控制房

精密環控柜采用可拆卸鋁合金框架，這一設計極具創新性和實用性。對于大型設備，可在現場進行組裝，減少了運輸過程中的體積和重量，降低了運輸難度和成本。同時，鋁合金材質具有強度高、質量輕、耐腐蝕等優點，保證了設備的結構穩定性和使用壽命。箱體采用高質量鈑金材質，不僅堅固耐用，而且美觀大方。更重要的是，可根據客戶需求定制外觀顏色，滿足不同用戶的個性化審美需求。在一些對環境美觀度有要求的實驗室或生產車間，定制化的外觀設計能使設備更好地融入整體環境。這種既注重功能又兼顧外觀的設計，充分體現了產品的人性化和靈活性。0.05℃環境控制房