惠州水油光刻膠工廠

來源：發布時間：2025-05-21

關鍵工藝流程

涂布：

? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度調整），需均勻無氣泡（旋涂轉速500-5000rpm）。

前烘（Soft Bake）：

? 加熱（80-120℃）去除溶劑，固化膠膜，增強附著力（避免顯影時邊緣剝離）。

曝光：

? 光源匹配：

? G/I線膠：汞燈（適用于≥1μm線寬，如PCB、LCD）。

? DUV膠（248nm/193nm）：KrF/ArF準分子激光（用于28nm-14nm制程，如存儲芯片）。

? EUV膠（13.5nm）：極紫外光源（用于7nm以下制程，需控制納米級缺陷）。

? 曝光能量：需精確控制（如ArF膠約50mJ/cm2），避免過曝或欠曝導致圖案失真。

顯影：

? 采用堿性溶液（如0.262N四甲基氫氧化銨，TMAH），曝光區域膠膜溶解，未曝光區域保留，形成三維立體圖案。

后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：

? 化學增幅型膠需此步驟，通過加熱（90-130℃）激發光酸催化反應，提高分辨率和耐蝕刻性。

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技術挑戰

光刻膠作為半導體、顯示面板等高級制造的材料，其技術挑戰主要集中在材料性能優化、制程精度匹配、復雜環境適應性以及產業自主化突破等方面

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? 高分辨率：隨著半導體制程向3nm、2nm推進，需開發更高精度的EUV光刻膠，解決光斑擴散、線寬控制等問題。

? 靈敏度與穩定性：平衡感光速度和圖案抗蝕能力，適應極紫外光（13.5nm）的低能量曝光。

? 國產化替代：目前光刻膠（如EUV、ArF浸沒式）長期被日本、美國企業壟斷，國內正加速研發突破。

光刻膠的性能直接影響芯片制造的良率和精度，是支撐微電子產業的“卡脖子”材料之一。

聚焦先進封裝需求，吉田半導體提供從光刻膠到配套材料的一站式服務，助力高性能芯片制造。
在 5G 芯片與 AI 處理器封裝領域，吉田半導體研發的 SU-3 負性光刻膠支持 3μm 厚膜加工，抗深蝕刻速率 > 500nm/min，為高密度金屬互連提供可靠支撐。其 BGA 助焊膏采用低溫固化技術（180℃），焊接空洞率 < 5%；針筒錫膏適用于 01005 超微型元件，印刷精度達 ±5μm。通過標準化實驗室與快速響應團隊，公司為客戶提供工藝優化建議，幫助降低生產成本，增強市場競爭力。

吉田半導體的自研產品已深度融入國內半導體產業鏈：

芯片制造：YK-300 光刻膠服務中芯國際、長江存儲，支持國產 14nm 芯片量產。
顯示面板：YK-200 LCD 光刻膠市占率達 15%，成為京東方、華星光電戰略合作伙伴。
新能源領域：無鹵無鉛焊片通過 UL 認證，批量應用于寧德時代儲能系統，年供貨量超 500 噸。

研發投入：年研發費用占比超 15%，承擔國家 02 專項課題，獲 “國家技術發明二等獎”。
產能規模：光刻膠年產能 5000 噸，納米壓印光刻膠占全球市場份額 15%。
質量體系：通過 ISO9001、IATF 16949 等認證，生產過程執行 8S 管理，批次穩定性達 99.5%。

吉田半導體將繼續聚焦光刻膠研發，加速 EUV 光刻膠與木基材料技術突破，目標在 2027 年前實現 7nm 制程材料量產。同時，深化國產供應鏈協同，構建 “材料 - 設備 - 工藝” 一體化生態圈，為中國半導體產業自主化貢獻 “吉田力量”。

從突破國際壟斷到行業標準，吉田半導體以自研自產為引擎，走出了一條中國半導體材料企業的崛起之路。未來，公司將以更具競爭力的產品與技術，助力中國半導體產業邁向更高臺階。

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納米制造與表面工程

? 納米結構模板：作為納米壓印光刻（NIL）的母版制備材料，通過電子束光刻膠寫出高精度納米圖案（如50nm以下的柱陣列、孔陣列），用于批量復制微流控芯片或柔性顯示基板。

? 表面功能化：在基底表面構建納米級粗糙度（如仿生荷葉超疏水表面）或化學圖案（引導細胞定向生長的納米溝槽），用于生物醫學或能源材料（如電池電極的納米陣列結構）。

量子技術與精密測量

? 超導量子比特：在鈮酸鋰或硅基底上，通過光刻膠定義納米級約瑟夫森結陣列，構建量子電路。

? 納米傳感器：制備納米級懸臂梁（表面鍍光刻膠圖案化的金屬電極），用于探測單個分子的質量或電荷變化（分辨率達亞納米級）。

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吉田半導體 YK-300 正性光刻膠：半導體芯片制造的材料

YK-300 正性光刻膠以高分辨率與耐蝕刻性，成為 45nm 及以上制程的理想選擇。
YK-300 正性光刻膠分辨率達 0.35μm，線寬粗糙度（LWR）≤3nm，適用于半導體芯片前道工藝。其耐溶劑性與絕緣阻抗性能突出，在顯影與蝕刻過程中保持圖形穩定性。產品已通過中芯國際量產驗證，良率達 98% 以上，生產過程執行 ISO9001 標準，幫助客戶降低封裝成本 20% 以上。支持小批量試產與定制化需求，為國產芯片制造提供穩定材料支撐。

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標簽：光刻膠錫片

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