天津制版光刻膠耗材

來源：發布時間：2025-05-27

作為中國半導體材料領域的企業，吉田半導體材料有限公司始終以自研自產為戰略，通過 23 年技術沉淀與持續創新，成功突破多項 “卡脖子” 技術，構建起從原材料到成品的全鏈條國產化能力。其自主研發的光刻膠產品已覆蓋芯片制造、顯示面板、精密電子等領域，為國內半導體產業鏈自主化提供關鍵支撐。

吉田半導體依托自主研發中心與產學研合作，在光刻膠領域實現多項技術突破：

YK-300 正性光刻膠：分辨率達 0.35μm，線寬粗糙度（LWR）≤3nm，適用于 45nm 及以上制程，良率達 98% 以上，成本較進口產品降低 40%，已通過中芯國際量產驗證。
SU-3 負性光刻膠：支持 3μm 厚膜加工，抗深蝕刻速率 > 500nm/min，成功應用于高通 5G 基帶芯片封裝，良率提升至 98.5%。
JT-2000 納米壓印光刻膠：突破 250℃耐高溫極限，圖形保真度 > 95%，性能對標德國 MicroResist 系列，已應用于國產 EUV 光刻機前道工藝。

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定義與特性

正性光刻膠是一種在曝光后，曝光區域會溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案一致的圖形。與負性光刻膠（未曝光區域溶解）相比，其優勢是分辨率高、圖案邊緣清晰，是半導體制造（尤其是制程）的主流選擇。

化學組成與工作原理

主要成分

? 樹脂（成膜劑）：

? 傳統正性膠：采用**酚醛樹脂（Novolak）與重氮萘醌（DNQ，光敏劑）**的復合體系（PAC體系），占比約80%-90%。

? 化學增幅型（用于DUV/EUV）：含環化烯烴樹脂或含氟聚合物，搭配光酸發生器（PAG），通過酸催化反應提高感光度和分辨率。

? 溶劑：溶解樹脂和感光劑，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。

? 添加劑：表面活性劑（改善涂布均勻性）、穩定劑（防止暗反應）、堿溶解度調節劑等。

工作原理

? 曝光前：光敏劑（如DNQ）與樹脂結合，形成不溶于堿性顯影液的復合物。

? 曝光時：

? 傳統PAC體系：DNQ在紫外光（G線436nm、I線365nm）照射下發生光分解，生成羧酸，使曝光區域樹脂在堿性顯影液中溶解性增強。

? 化學增幅型：PAG在DUV/EUV光下產生活性酸，催化樹脂發生脫保護反應，大幅提高顯影速率（靈敏度提升10倍以上）。

? 顯影后：曝光區域溶解去除，未曝光區域保留，形成正性圖案。

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國家戰略支持

《國家集成電路產業投資基金三期規劃》將光刻膠列為重點投資領域，計劃投入超500億元支持研發。工信部對通過驗證的企業給予稅收減免和設備采購補貼，單家企業比較高補貼可達研發投入的30%。

地方產業協同

濟南設立寬禁帶半導體產業專項基金，深圳國際半導體光刻膠產業展覽會（2025年4月）吸引全球300余家企業參展，推動技術交流。

資本助力產能擴張

恒坤新材通過科創板IPO募資15億元，擴大KrF光刻膠產能并布局集成電路前驅體項目。彤程新材半導體光刻膠業務2024年上半年營收增長54.43%，ArF光刻膠開始形成銷售。

對比國際巨頭的差異化競爭力

維度吉田光刻膠國際巨頭（如JSR、東京應化）

技術定位聚焦細分市場（如納米壓印、LCD）主導高級半導體光刻膠（ArF、EUV）

成本優勢原材料自主化率超80%，成本低20% 依賴進口原材料，成本高

客戶響應 48小時內提供定制化解決方案認證周期長（2-3年）

區域市場東南亞、北美市占率超15% 全球市占率超60%

風險與挑戰

前段技術瓶頸：ArF、EUV光刻膠仍依賴進口，研發投入不足國際巨頭的1/10。

客戶認證周期：半導體光刻膠需2-3年驗證，吉田尚未進入主流晶圓廠供應鏈。

供應鏈風險：部分樹脂（如ArF用含氟樹脂）依賴日本住友電木。

吉田質量管控與認證壁壘。

不同光刻膠類型的適用場景對比

類型波長范圍分辨率典型應用產品

G線/i線光刻膠 436/365nm ≥1μm PCB、LCD黑色矩陣吉田半導體JT-100系列

KrF光刻膠 248nm 0.25-1μm 28nm以上芯片、Mini LED制備吉田半導體YK-300系列

ArF光刻膠 193nm 45nm-0.25μm 14nm及以上芯片、OLED電極圖案化國際主流：JSR ARF系列

EUV光刻膠 13.5nm ≤7nm 7nm以下先進制程、3D NAND堆疊研發中（吉田半導體合作攻關）

水性光刻膠全波長適配 5-50μm 柔性顯示、環保PCB阻焊層吉田半導體WT-200系列

總結：多領域滲透的“工業維生素”

光刻膠的應用深度綁定電子信息產業，從半導體芯片的“納米級雕刻”到PCB的“毫米級線路”，再到顯示面板的“色彩精細控制”，其技術參數（分辨率、耐蝕刻性、靈敏度）需根據場景設計。隨著**新能源（車規芯片、光伏）、新型顯示（Micro LED）、先進制造（納米壓印）**等領域的發展，光刻膠的應用邊界將持續擴展，成為支撐制造的關鍵材料。

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光刻膠新興及擴展應用。天津制版光刻膠耗材

憑借多年研發積累，公司形成了覆蓋光刻膠、焊接材料、電子膠等領域的豐富產品線。在焊接材料方面，不僅提供常規錫膏、助焊膏，還針對特殊場景開發了 BGA 助焊膏、針筒錫膏等定制化產品，滿足精密電子組裝的多樣化需求。同時，感光膠系列產品分為水性與油性兩類，兼具耐潮性與易操作性，廣泛應用于印刷電路板制造。

公司產品遠銷全球，并與多家跨國企業及電子加工企業建立長期合作關系。通過在重點區域設立辦事處，提供快速響應的技術支持與售后服務。依托東莞 “世界工廠” 的產業資源，公司強化供應鏈協同，縮短交付周期，為客戶提供高效解決方案。

未來，廣東吉田半導體材料有限公司將繼續深化技術創新，拓展產品應用領域，以可靠的產品與專業的服務，持續鞏固其在半導體材料行業的重要地位。

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標簽：光刻膠錫片

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