半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)電動(dòng)缸精度有什么要求？

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江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司2025-04-17

需達(dá)到：①定位精度 ±0.01mm，重復(fù)定位精度 ±0.005mm；②無(wú)油潤(rùn)滑設(shè)計(jì)，避免顆粒污染；③防靜電涂層，防止芯片吸附粉塵；④支持真空環(huán)境（壓力≤10?3Pa），適配晶圓搬運(yùn)。

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簡(jiǎn)介：江蘇邁茨智能裝備有限公司成立于2013年，專注于伺服電動(dòng)缸及智能驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，服務(wù)客戶2000+企業(yè)。

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