廈門負性光刻膠感光膠
來源：
發布時間：2025-04-20
技術挑戰
光刻膠作為半導體、顯示面板等高級制造的材料，其技術挑戰主要集中在材料性能優化、制程精度匹配、復雜環境適應性以及產業自主化突破等方面
吉田半導體：以技術革新驅動光刻膠產業升級。廈門負性光刻膠感光膠
? 高分辨率：隨著半導體制程向3nm、2nm推進，需開發更高精度的EUV光刻膠，解決光斑擴散、線寬控制等問題。
? 靈敏度與穩定性：平衡感光速度和圖案抗蝕能力，適應極紫外光（13.5nm）的低能量曝光。
? 國產化替代：目前光刻膠（如EUV、ArF浸沒式）長期被日本、美國企業壟斷，國內正加速研發突破。
光刻膠的性能直接影響芯片制造的良率和精度，是支撐微電子產業的“卡脖子”材料之一。
吉田半導體納米壓印光刻膠 JT-2000：國產技術突破耐高溫極限
產品優勢：多元化布局與專業化延伸
全品類覆蓋
吉田產品涵蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導體錫膏等，形成“光刻膠+配套材料”的完整產品線。例如：
? 芯片光刻膠：覆蓋i線、g線光刻膠，適用于6英寸、8英寸晶圓制造。
? 納米壓印光刻膠：用于MEMS、光學器件等領域，替代傳統光刻工藝。
專業化延伸
公司布局半導體用KrF光刻膠，計劃2025年啟動研發，目標進入中芯國際、長江存儲等晶圓廠供應鏈。
質量與生產優勢：嚴格品控與自動化生產
ISO認證與全流程管控
公司通過ISO9001:2008質量體系認證，生產環境執行8S管理，原材料采用美、德、日進口高質量材料，確保產品批次穩定性。
質量指標：光刻膠金屬離子含量低于0.1ppb，良率超99%。
自動化生產能力
擁有行業前列的全自動化生產線，年產能達2000噸（光刻膠及配套材料），支持大規模訂單交付。
上游原材料：
? 樹脂：彤程新材、鼎龍股份實現KrF/ArF光刻膠樹脂自主合成，金屬雜質含量<5ppb（國際標準<10ppb）。
? 光引發劑：久日新材攻克EUV光刻膠原料光致產酸劑，累計形成噸級訂單；威邁芯材合肥基地建成100噸/年ArF/KrF光刻膠主材料產線。
? 溶劑：怡達股份電子級PM溶劑全球市占率超40%，與南大光電合作開發配套溶劑，技術指標達SEMI G5標準。
設備與驗證：
? 上海新陽與上海微電子聯合開發光刻機適配參數，驗證周期較國際廠商縮短6個月；徐州博康實現“單體-樹脂-成品膠”全鏈條國產化，適配ASML Twinscan NXT系列光刻機。
? 國內企業通過18-24個月的晶圓廠驗證周期（如中芯國際、長江存儲），一旦導入不易被替代。
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定義與特性
負性光刻膠是一種在曝光后，未曝光區域會溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案相反的圖形。與正性光刻膠相比，其主要特點是耐蝕刻性強、工藝簡單、成本低，但分辨率較低（通常≥1μm），主要應用于對精度要求相對較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場景。
化學組成與工作原理
主要成分
基體樹脂：
? 早期以聚異戊二烯橡膠（天然或合成）為主，目前常用環化橡膠（Cyclized Rubber）或聚乙烯醇肉桂酸酯，提供膠膜的機械強度和耐蝕刻性。
光敏劑：
? 主要為雙疊氮化合物（如雙疊氮芪）或重氮醌類衍生物，占比約5%-10%，吸收紫外光后引發交聯反應。
交聯劑：
? 如六亞甲基四胺（烏洛托品），在曝光后與樹脂發生交聯，形成不溶性網狀結構。
溶劑：
? 多為有機溶劑（如二甲苯、環己酮），溶解樹脂和光敏劑，涂布后揮發形成均勻膠膜。
工作原理
曝光前：光敏劑和交聯劑均勻分散在樹脂中，膠膜可溶于顯影液（有機溶劑）。
曝光時：
? 光敏劑吸收紫外光（G線436nm為主）后產生活性自由基，引發交聯劑與樹脂分子間的共價鍵交聯，使曝光區域形成不溶于顯影液的三維網狀結構。
顯影后：
? 未曝光區域的樹脂因未交聯，被顯影液溶解去除，曝光區域保留，形成負性圖案（與掩膜版相反）。
廈門負性光刻膠感光膠廣東吉田半導體材料有限公司是一家有著先進的發展理念，先進的管理經驗，在發展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創新，時刻準備著迎接更多挑戰的活力公司，在廣東省等地區的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**，在業界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果，這些評價對我們而言是比較好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發圖強、一往無前的進取創新精神，努力把公司發展戰略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同吉田半導體供應和您一起攜手走向更好的未來，創造更有價值的產品，我們將以更好的狀態，更認真的態度，更飽滿的精力去創造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！
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